中古 ASAHI SUNAC AF5400SC #9390976 を販売中

ASAHI SUNAC AF5400SCは、商用および産業用に設計された高性能ウェーハ加工装置です。ウェットエッチング、ドライエッチング、スピンエッチング、フォトリソグラフィー、レジストストリッピングなど、幅広いウエハ加工機能を備えた最大4インチウエハ処理が可能です。このユニットは、5kWで粗く調整可能なICP（誘導結合プラズマ）電源を備えた最先端の電気化学的引込みセル構成を利用しています。ウェーハの全面に平行で均一なプラズマ処理が可能です。その細胞はまた異なったガスの相互汚染を防ぐために割れ目の流れの技術を特色にします。チャンバー蓋はクイックオープン機構を備えており、チャンバーへの容易なアクセスを可能にし、歩留まりとスループットを向上させます。このツールは、高度なプロセス制御と監視機能も備えています。4気体入口は安定した再現性のある条件を提供し、高度な室内圧力適応アセットはリアルタイムでプロセス条件を調整します。これにより、正確かつ正確なプロセス条件が可能になり、チャンバー汚染を最小限に抑え、頻繁なメンテナンスの必要性を最小限に抑えます。このモデルには、エッチング速度を監視し、一貫した再現性のあるプロセスを保証する水晶結晶マイクロバランスを含む、追加のセンサーの範囲もあります。この機器はまた、2つの高効率DCスパッタ源を誇っています。エッジの膜厚を最小限に抑え、均一な成膜が可能なため、エッチング工程での小型マスクの使用が可能です。これにより、システムの精度と精度がさらに向上します。AF5400SCは、高精度で高精度なウェーハ加工サービスを提供する、幅広い産業および商用アプリケーションに理想的なユニットです。このマシンは、安全で便利な使用を維持しながら、タイトなプロセス制御、優れた歩留まり、および高スループット動作が可能です。最高品質のウェーハ処理能力を提供することで、このツールは多くの業界の多くのオペレータに最適です。