中古 AQUEOUS TECH Zero-ion #293657416 を販売中

AQUEOUS TECH Zero-ionは、半導体加工用製品のリーディングサプライヤーであるAqueous Technologies Corp。が開発した高度なウェハエッチングおよびドーピング処理装置です。ゼロイオン技術を使用してエッチングやドーピングガスを使用せずにエッチングやドーピングウエハをエッチングし、高精度かつ超高純度のウエハを生成することができます。この技術は、極めて精密なウェーハエッチングとドーピングプロセスを提供するように設計されています。AQUEOUS TECHゼロイオンシステムは、極めて高解像度で精密なウェーハ加工を可能にする特許取得済みの成膜・エッチング技術を搭載しています。それに顧客の要求を満たすために容易に置くことができ、カスタマイズすることができるプロセスパラメータの広い範囲があります。このユニットには、精度と再現性の高い性能を保証する高度なサンプリングマシンも付属しています。このツールはまた、電気、機械、化学などの幅広い転送機能とオプションを提供しています。ゼロイオンアセットを利用したウェハエッチング工程では、まず溶剤洗浄液でウェハを事前洗浄します。その後、適切なガス源を使用してプラズマが生成され、表面汚染物質を除去するために使用されます。これに続いて、液体溶液中で行われるウェットエッチング処理が行われます。その後、ウェーハを加熱して有機残留物を除去し、インターフェース洗浄を行います。このプロセスに続いて、ウェーハ上で望ましい特性を達成するための空室補償とドーパントの活性化が行われます。AQUEOUS TECHを用いたウェハのドーピングZero-ionモデルは、化学蒸着プロセスと適切なガスを使用したエッチングプロセスに基づいています。ウェーハ上に薄膜を提供する化学反応が開始されます。次に、ドーピングプロセスにソースガスを使用し、ウェーハをドーピングするためにプラズマを生成します。ドーピングプロセスが完了すると、フィルムの構造が変更され、ウェーハの特性が調整されます。ゼロイオン装置は、エッチングおよびドーピングプロセスの高精度と再現性を保証します。また、優れた熱管理システムとさまざまなプロセスガスとの互換性で有名です。さらに、AQUEOUS TECHゼロイオンユニットは、最短時間で望ましい品質を提供することができます。これにより、集積回路製造など幅広い用途に適しています。