中古 AQUEOUS TECH Trident #293819840 を販売中

AQUEOUS TECH Tridentは、クリーンルーム環境で大量のウェーハを自動的にバッチ処理する次世代ウェーハ処理装置です。このシステムは、ウェーハトレイと基板キャリアを備えたモジュール式のスケーラブルな設計で、最大150ミリメートルのウェーハサイズに対応しています。直感的なユーザーインターフェイスと高度な安全機能により、ユーザーは高精度な処理のための信頼性の高い再現可能な操作を提供します。このユニットは、ポリシリコン蒸着、フォトレジスト蒸着、接触形成、エッチングなどのさまざまな熱処理をサポートする自動熱処理制御マシンを備えています。このツールは、1°Cを±するための高精度な温度制御を提供し、ウェーハの寸法を正確に操作し、接触抵抗を高精度に測定することができます。このアセットには、コンピューター制御のマスクアライナーや前進するモーションステージなど、リソグラフィのさまざまな機能も装備されています。また、サーボ駆動コンベア、バーコードリーダー、自動移動治具など、さまざまな生産要件に合わせてさまざまなオートメーションオプションを備えています。自動化により、モデルの操作と維持が容易になり、繰り返し可能なプロセスを確保し、コスト効率を向上させることができます。また、作業エリアの閉塞検出器として機能するライトカーテンや、システムを汚染物質から解放するための自動制御エアシャワーなどの高度な安全機能も備えています。AQUEOUS TECH Tridentは、一貫した制御環境でウェーハを処理するための信頼性の高い効率的な機械をユーザーに提供するために設計された、汎用性の高いウェーハ処理ユニットです。モジュール設計、カスタマイズされたオートメーションオプション、高度な安全機能を備えたこのツールは、さまざまなウェーハの信頼性と再現性に優れた処理方法を提供します。