中古 AQUEOUS TECH Trident XLD #9258638 を販売中

AQUEOUS TECH Trident XLDは、バックエンド半導体製造および選択的蒸着アプリケーション向けに設計された先進的なウェーハ処理装置です。スループットを最大化し、汚染リスクを低減し、プロセス環境を管理するために設計された独自の技術の組み合わせを提供します。Trident XLDは、柔軟性と拡張性を最大限に高めるように設計された高度なモジュラープラットフォーム上に構築されています。プラットフォームは、ウェーハハンドリングシステム、蒸着室、クリーニングサブシステムの3つの主要な要素で構成されています。ウェーハハンドリングユニットは、ウェーハを入力から出力モジュールに確実に転送し、必要な品質レベルに保ちます。蒸着チャンバは、選択的な蒸着アプリケーションに精密で再現性のある熱環境を提供するように設計されています。洗浄サブシステムには、粒子をきれいにして除去するための低リスクで汚染のないプラズマベースのプロセスが含まれています。AQUEOUS TECH Trident XLDはまた、クローズドループのプロセス制御機を備えており、精度の高い最大8軸を制御することができます。このツールは、強力なウェーハ処理レシピとレシピ内のパラメータをすばやく変更する機能をユーザーに提供します。クローズドループのプロセス制御アセットは、高精度の層厚制御、最適な層均一性を可能にし、迅速なレシピの切り替えとレシピの最適化を可能にします。蒸着チャンバは、ウェーハ全体の安定性と温度の均一性を高めるためのデュアルチャンバー配置で設計されています。チャンバーは、シリアル両面ウェハスタッキングと効率的な拡散反応器へのアクセスに最適化されています。このモデルはまた、プロセスを効率的に冷却し、歩留まりを改善し、工具寿命を延ばすための水再循環装置を備えています。Trident XLDは高度な技術に加えて、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、簡単にレシピの作成と選択が可能です。GUIは、ユーザーに詳細なプロセス情報と、包括的な障害診断および修正ツールを提供します。このシステムは、オペレータがツールパフォーマンスと歩留まりを向上させるためのプロセスレシピのトラブルシューティングと最適化を支援します。AQUEOUS TECH Trident XLDは、バックエンド半導体製造および選択的蒸着アプリケーション向けの強力で堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。高度な機能、モジュラープラットフォーム、クローズドループプロセス制御ユニット、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたこのマシンは、生産プロセスを最適化したいメーカーにとって理想的な選択肢です。