中古 AQUEOUS TECH Trident XLD DUO #9296611 を販売中

AQUEOUS TECH Trident XLD DUOは、化合物半導体ウェーハおよびMEMSデバイスを正確かつ迅速に処理するための最先端の「その他のウェーハ処理」装置です。Trident XLD DUOは、製造プロセス全体を前例のない制御を提供し、一貫した層の堆積とデバイスパターンを確保するのに役立ちます。Trinity XLD Duoシステムには、マルチチャンバー・プロセス・チャンバ、バッチ・ロード・アンロード・ユニット、およびレーザー誘導結晶化（LDC）マシンが含まれています。プロセス部屋は基質の温度、真空、圧力および大気を正確に制御できます。抵抗および容量性加熱システムを使用して、基板温度を正確に制御し、さまざまな条件で繰り返し動作します。このバッチロード解除ツールは、ロボットアームを使用して、製造中にウェーハおよびMEMSデバイスを迅速かつ正確にロードおよびアンロードします。また、独自の光学センサアセットを使用して、プラットフォーム上のさまざまな種類のウェーハやMEMSデバイスを検出し、高精度な動作を保証します。LDCモデルは、レーザー装置を内蔵しており、幅広い温度範囲で薄層の精密な結晶化を可能にします。この結晶化はウェーハの特定の部分をターゲットにすることができ、複雑なパターンをより迅速かつ効率的に作成することができます。レーザーシステムはまた、フィードバック制御を可能にし、ウェーハ処理の複数のサイクルにわたって一貫した結果を保証します。レーザー誘導結晶化ユニットは、プロセスチャンバーの環境制御と組み合わせて、非常に正確な層の堆積とパターン形成を可能にします。AQUEOUS TECH Trident XLD DUOは、従来のシステムよりも使いやすさを向上させ、直感的なユーザーインターフェイスと自動プロセス制御および自動デバイス識別を提供します。また、このマシンは、高度な技術とフットプリントが小さいため、所有コストが向上しています。最後に、Trident XLD DUOは信頼性の高い再現可能な処理を提供し、ユーザーは高品質の化合物半導体およびMEMSデバイスを迅速かつ確実に製造することができます。