中古 AQUEOUS TECH SMT800 #9242474 を販売中

AQUEOUS TECH SMT800は、高度なウエハ加工用に設計された装置です。自動化された材料処理、ウェーハスプリットハンドリング、ボンダー制御、レーザダイシングシステム、ウェーハクリーニング用の自動モジュールで構成され、最大800mmのウェーハ基板を自動処理します。このモジュールは、Smart Process Computer Unitを使用して操作を監視します。コンピュータ機械は操作を表示し、変数および制御機械を置くことを可能にするグラフィカルユーザーインターフェイスとセットアップされます。マテリアルハンドリングプロセスは、原材料のトレイを機械に積み込むことから始まります。トレイは1バッチにつき最大200個のウェーハを保持できます。その後、ウェーハは主要な配送ステーションに転送され、処理が可能になります。SMT800には、各ウェーハの周りに所望のパターン化されたリングを取り付けるための自動ボンダーが装備されています。ボンダーは、選択的にウェーハの特定の部分だけを正確に結合するようにプログラムすることができます。ボンディングプロセスが完了すると、マシンはウェーハをレーザダイシングステーションに移動します。ここでは、ウェーハから小さな部品を高精度に切断する高性能レーザーを使用します。このプロセスに続いて、レーザー切断から残留物を除去するウェーハ洗浄プロセスがあります。洗浄されたウェーハをトレイに戻して最終検査を行い、機械からアンロードします。AQUEOUS TECH SMT800は、高度なアライメントツールを使用して、プロセスの精度と再現性を保証します。資産は顧客の特定の条件を満たすためにカスタマイズされます。自動化されたバージョンとは別に、SMT800は長い複雑なアプリケーションのために手動で操作することもできます。このモデルは、信頼性の向上とサイクルタイムの短縮を実現し、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに最適です。