中古 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9257098 を販売中

AQUEOUS TECH SMT600-LDは、ウェーハ加工に特化した先進的な装置です。半導体や他のウェハレベルのデバイスメーカーにとって理想的な選択肢です。SMT600-LDは、高温および超高真空アニーリング、酸化物および窒化物の堆積、エッチングおよびパターニング、イオン注入など、ウェハレベルの処理に幅広い機能を備えています。AQUEOUS TECH SMT600-LDには大型液晶モニターと自動化された制御システムがあり、プロセスを迅速かつ正確に設定できます。このユニットには過熱や過圧警報などの安全機能が内蔵されており、他のプロセス機器やコンピュータと接続するための多数の通信ポートがあります。SMT600-LDには、信頼性の高いウェーハ処理結果を保証するための多くの注目すべき機能があります。このマシンは、最大の汎用性のためにカスタマイズ可能なウェーハテーブルで、さまざまなウェーハサイズと処理ニーズに対応するように調整可能です。そのデジタル圧力コントローラと真空レベルのインジケータは、処理パラメータの正確な制御と監視を提供します。AQUEOUS TECH SMT600-LDには、10〜8 mbarの超高真空レベルに達することができる高度な真空ツールが装備されています。これにより、酸化や窒化物蒸着などの高真空条件を必要とするプロセスを可能にします。アセットには、熱処理のための加熱されたプロセスチャンバーも多数あります。発熱体は調節可能であり、さまざまな熱処理のために異なる温度に達することができます。SMT600-LDには、安全で正確なウェーハハンドリングを提供する精密な機械式チャックと、正確な動きと位置決めのための高精度のエンドエフェクターもあります。AQUEOUS TECH SMT600-LDモデルには、ウェーハ加工用の自動カセットツーカセットハンドラも搭載しています。このハンドラを使用すると、カセットローディングとアンロードを自動化し、ウェハ方向と基板のアライメントを自動化できます。全体として、SMT600-LDはウェーハ処理用に設計された高性能で汎用性の高い機器です。内蔵の安全機能、調整可能なプロセスパラメータ、自動化されたハンドリング、超高真空機能など、多くの利点があります。このシステムは、半導体およびその他のウェハスケールのデバイス製造環境での研究および製造の両方に最適です。