中古 AQUEOUS TECH SMT600-LD #9220569 を販売中

AQUEOUS TECH SMT600-LDは、サブミクロンのリソグラフィ、計測、プラズマ、エッチング、クリーン、表面処理プロセスなど、さまざまな用途向けに設計されたウェーハ処理装置です。SMT600-LDシリーズシステムは、オープンアーキテクチャプラットフォームを備えた設計が進んでおり、優れた柔軟性と簡単なシステムアップグレードを可能にします。コンピュータコントロールユニットは、プロセスパラメータを正確に制御し、サンプル調製時に再現可能な結果を保証します。AQUEOUS TECH SMT600-LDシリーズは、さまざまなプロセス要件に適応するためのさまざまなオプションを備えた自己完結型モジュラーマシンです。モジュラー設計により、ユーザーはニーズに合わせてツールをカスタマイズし、簡単に拡張できます。ウェーハチャック、高精度レーザー測定アセット、ツインチューブプラズマエッチングモデル、流体操作用ポンプを含む処理領域が含まれています。すべての部品は信頼できる作業スペースを提供するために腐食性の化学薬品のすべての形態に抵抗するように設計されているステンレス鋼のワークテーブルに取付けられます。SMT600-LDシリーズは高性能マイクロプロセッサベースの制御装置によって動力を与えられます。このシステムには、ユーザーフレンドリーでユーザーが特定のニーズに合わせてプログラミングをカスタマイズできる高度なソフトウェアも含まれています。直感的なインターフェイスは、ユニット診断やデータロギングなど、さまざまな機能を提供します。AQUEOUS TECH SMT600-LDシリーズは、多彩なモーションコントロール設定を備えた高精度アライメントシステムです。このマシンは、さまざまなウエハサイズの動作の自由度を最大20度で動作させることができます。モーションコントロールツールは、サンプルの位置と向きを高解像度で追跡および制御します。高精度エレクトロニクスは、高度な温度制御と統合されたプロセスタイミング機能を可能にします。SMT600-LDの温度安定性は、事前に選択されたセットポイントの+/-1⁰Cに保証されており、統合されたプロセスタイミングにより、沈着、エッチング、クリーンプロセスの適切かつ迅速なタイミングが保証されます。SMT 600-LDシリーズは、高度な研究アプリケーションに最適な、高レベルの機能と機能を提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、精密制御システム、モジュール設計により、さまざまな半導体加工技術の研究に最適なツールです。堅牢な構造により、信頼性の高い操作が保証され、直感的な設計により、ユーザーはその操作をすばやく習得できます。