中古 AQUEOUS TECH SMT-600LD #9253137 を販売中

AQUEOUS TECH SMT-600LDは、他のウェハ加工業界のウェットプロセスアプリケーションに迅速かつ信頼性の高いソリューションを提供します。超低コストかつ高効率を実現するために設計されたこの装置は、ウェーハサイズ、厚さ、材料の多様性において、最小限の労力と優れた性能でシステム性能を最大限に発揮します。本体の主な用途は、ウェットプロセス前にレジストコーティングを施したウェハ加工です。SMT-600LDは、他のウェーハ処理の各プロセス手順ごとに個別のモジュールを備えたモジュール設計プラットフォームで構成されています。これには、各モジュールにウェーハを輸送するためのコンベアベルト、高速スプレーバッチと減衰プロセスの組み合わせ、予熱、2段階の冷却、液体レベルを制御するための完全自動化された機械が含まれます。ウェットプロセスツールは、高圧、多方向スプレーとディッピングメカニズムを組み合わせて使用し、望ましいレジストコーティングを実現します。プロセスのスプレーフェーズは均一なコーティングを保証し、外部および内部の欠陥から保護しますが、ディッププロセスはウェーハの表面から粒子を除去するのに役立ちます。予熱モジュールは、ウェーハが処理前に正確な温度に達することを可能にし、2段階の冷却モジュールは、亀裂を避けるために均一な冷却を保証します。もう1つのウェーハ処理資産には、レンジや振動のある環境でも一貫した液面レベルを維持するための統合された洗練された液面制御モデルが含まれています。これにより、液体が均等に分布し、ウェーハ表面の損傷を回避できます。AQUEOUS TECH SMT-600LDは、さまざまな種類のレシピや自動パラメーター調整など、プロセスパラメータを最大限にカスタマイズできます。さらに、この機器にはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスが含まれており、操作が簡単で、既存の生産ラインに統合できます。その卓越した性能に加えて、SMT-600LDは安全性を念頭に設計されています。緊急停止ボタン、水位および温度警報、および動作中の障害を検出するためのさまざまなセンサー回路などの機能が含まれています。全体として、AQUEOUS TECH SMT-600LDは、他のウェーハ処理アプリケーションに最適なシステムです。このユニットは、優れた性能、最小限の労力、カスタマイズ可能なプロセスパラメータを提供し、均一なコートで最高品質のウェーハを保証します。