中古 AQUEOUS TECH ECO #9185902 を販売中

AQUEOUS TECH ECOは、他のウェーハ処理のための画期的な新しいシステムです。この高スループット、低フットプリント装置は、独自のアクア処理技術を利用しており、Si、 GaAs、 InP、 SoI、 FDSOIを含むすべてのタイプのウェーハでマルチステージ処理が可能です。このシステムは、塩素系前処理炉、オゾン系フッ素化炉、プラズマベース酸化炉、酸系後処理タンクの4つの主要コンポーネントで構成されています。塩素ベースの前処理リアクターは、ウェーハ表面から汚染物質とネイティブ酸化物を除去するために使用されます。前処理後、酸素と水素ベースのラジカルが生成され、その後のプロセス工程の接着性が向上します。オゾンベースのフッ素化炉を利用して、ウェーハに高品質の誘電膜を堆積させます。酸性後処理タンクに入る前に、ウエハの表面品質を精製するためにプラズマベースの酸化炉を使用します。酸性後処理は誘電膜をエッチングするために使用されます。エッチングプロセスは、ウェーハの表面が均一で欠陥がないように注意深く監視されています。チューニングされたプロセスパラメータは、浅くて深いエッチング操作を可能にします。後処理後、導電性シード層とパッシベーション層がウェーハに堆積します。最後に、ウェーハを検査し、表面に損傷や欠陥がないか確認します。ECOは、廃棄物と環境への影響を最小限に抑えるように設計されています。それは前処理、fluorination、酸化および後処理の段階のために環境に優しい解決を使用します。また、様々な流体を回収して再利用することで、廃棄物を最小限に抑え、処理中のウエハーの最適な処理を保証します。AQUEOUS TECH ECOは、マイクロエレクトロニクス、フォトニクス、バイオメディカルデバイスなど、さまざまな産業用途で使用できる信頼性と費用対効果の高いシステムです。アスペクト比の高いエッチング機能と低いフットプリントは、ウェハレベルのパッケージングとMEMS/NEMS統合に特に適しています。柔軟でユーザーフレンドリーな設計により、ECOはウェーハ処理作業に最適です。