中古 AQUEOUS TECH AQ 7 #9165986 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 7は、半導体産業における高精度・高歩留まり加工の要求に応えるために設計されたウェーハ加工装置です。300mmウェーハをサポートし、最大200個のウェーハを24時間で処理でき、1ミクロン以下の精度を実現します。AQ 7は、多種多様なウエハプロセスの高速で信頼性の高い処理を提供する統合されたソフトウェアおよびハードウェア機能を備えた完全自動化ユニットです。湿式と乾式の両方のプロセスを組み合わせることで、さまざまなプロセスタスクを効率的かつ再現可能に実行できます。AQUEOUS TECH AQ 7には、濡れたプロセスと乾いたプロセスの両方を処理できるプロセスモジュールが含まれています。エッチング・プラズマエッチングを利用したエッチング機、エッチング・形状面、コンフォーマルコーティング・薄膜成膜用の気相成膜ツールを搭載しています。AQ7には、ウェーハのすすぎや乾燥に使用されるスピンリンスドライヤーもあります。マスフローコントローラと真空チラーが付属しており、希望するウェーハプロセスに正確な環境条件を提供します。AQUEOUS TECH AQ 7には、最先端のAQ 8監視アセットも含まれており、ユーザーは処理モデル全体をリアルタイムで監視および制御できます。モニタリング機器には、オンラインプロセスレシピとレシピ管理機能が含まれており、プロセスパラメータが常に最高レベルの精度で保持されることを保証します。安全性、信頼性、再現性を確保するために、AQ 7には複数の安全機能が含まれています。これらには、システム自己診断機能が含まれており、ユーザーはユニット操作中に異常状態を簡単に確認できます。内蔵のチラー安全装置により、チラーの温度が設定されたポイント温度を超えることはありません。このツールには、危険な環境での安全性とパフォーマンスを保証するための組み込み安全資産とCEおよびATEXを含む複数の認証も含まれています。最後に、AQUEOUS TECH AQ 7は、幅広い動作モード（ウェット、ドライ、またはその両方）を提供します。これにより、異なる生産ラインや生産ラインで発生する可能性のある条件に簡単に適応できます。また、高度なユーザーインターフェイスとレポート機能も備えており、ユーザーはモデル使用中に進捗状況を簡単に監視および追跡できます。全体として、AQ7は半導体業界のニーズに応えるために設計された最上位のウェーハ処理装置です。このシステムは、幅広い用途で高精度、高スループット、および信頼性の高い動作を提供します。また、追加されたユーザーの安全のための複数の安全機能を提供し、危険な環境での使用のために認定されています。