中古 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9234265 を販売中
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ID: 9234265
ヴィンテージ: 1997
Batch cleaner
Open loop machine
Does not include strip printer
1997 vintage.
AQUEOUS TECH AQ 400CLは、ウェーハ製造の最高の非化学的粒子削減要件を満たすように設計された先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、優れた粒子削減性能、より厳格な粒子サイズ分布制御、およびより効率的な実行時間を提供します。AQUEOUS TECH AQ 400/CLは、調整可能な圧力ジェットノズル洗浄プロセスを備えており、最適なウェハコーティング結果と粒子減少性能を保証するように設計されています。このプロセスは、精密な水流量と調整可能なジェットノズルの向きと位置を利用して、粗い表面と仕上がりの両方を効果的に洗浄します。調節可能な水圧と複数のジェットノズル洗浄サイクルの組み合わせは、高度な粒子減少性能を提供します。AQ 400CLには、湿式と乾式の両方のプロセス機能が組み合わされています。この両プロセス機能を組み合わせることで、ウェーハ表面の洗浄が容易になり、基盤となるウェーハ表面の整合性を維持しながら微粒子を除去できるため、性能が向上します。AQ 400/CLユニットは、高輝度UV-C発光光パーティクル除去技術を利用しています。この特許取得済みの技術により、化学薬品を使用せずに堅牢な粒子減少が保証されます。光発光ライトは、ウェーハ表面を安全で正確なエネルギーフラックスにさらし、基板を損傷することなく粒子を中和します。この技術により、ウェーハ表面のより効率的な処理のためのより長い実行時間を可能にします。さらに、AQUEOUS TECH AQ 400CLは、さまざまなアプリケーション、実行速度、環境条件に対応するために、幅広いオートメーションおよび機械制御を備えています。このソフトウェアは、前工程、ウェーハビルドアップルームの上流、および後処理エリアからの粒子を除去するように設計されています。これにより、前処理段階と後処理段階の両方で高品質のパーティクル低減ウェーハ表面を提供します。全体として、AQUEOUS TECH AQ 400/CLは、最高の非化学的粒子削減要件を満たすように設計された高度なウェーハ処理ツールです。このアセットは、優れたパーティクル低減性能、よりタイトなパーティクルサイズ分布制御、より効率的な実行時間、および幅広いオートメーションおよびモデルコントロールを提供します。
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