中古 AQUEOUS TECH AQ 400CL #9032311 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 400CLは、ハイスループット、自動化されたウェーハ洗浄および乾燥用に設計された次世代ウェーハ処理システムです。AQUEOUS TECH独自のCloud-Ready Platformを搭載しており、クラウドベースのSOP、データ取得、遠隔監視および通信を使用しています。AQUEOUS TECH AQ 400/CLは、4つの処理モジュールを備えたモジュール設計により、主流の半導体からMEMS、 MEMS-A、マイクロ流体、その他多数のアプリケーションまで、幅広い基板の大量生産に最適です。AQ 400CLのモジュラー設計により、最大限の汎用性、互換性、柔軟性を実現します。プロセスモジュール、クリーンモジュール、エアパージモジュール、チャンバーコントロールモジュールの4つの統合モジュールは、さまざまな機能を提供します。プロセスモジュールは、高度なウェーハプリッピング、ウェット処理、材料搬送を提供し、クリーンモジュールはクリーニング、乾燥、不揮発性デポジット除去を提供します。エアパージモジュールは、パージ、フラッシュ、ベントサイクルのサポートと気密シールを提供し、チャンバーコントロールモジュールは部分チャンバーを制御します。AQ 400/CLのCloud-Ready Platformは、ハードウェアとソフトウェアの両方でリモートプログラミング、監視、トラブルシューティングを行うオペレータを支援します。リピート機能とプロセスマッチング、マルチロケーション監視、および異なるソフトウェア構成と操作の同時実行により、ユーザーはデータを収集して操作を改善し、処理時間を最大50％節約できます。このプラットフォームでは、リモートのSOP、ドキュメント、および診断レポートの完全なスイートも提供しています。4つの処理モジュールに加えて、AQUEOUS TECH AQ 400CLには最適な性能を確保するためのさまざまな機能が搭載されています。PTFEコーティングされた化学増強チャンバー設計により、さまざまな化学製品でのウェット処理をサポートし、完全に自動化されたクリーン荷重降下システムを備えています。その内部チャンバークリーンは、自己クリーンサイクルとして機能し、タイトなクリーンルーム基準内のプロセスを維持するのに役立ちます。さらに、ウェーハの正確で信頼性の高い追跡と取り扱いのための自動校正機能を備えています。全体として、AQUEOUS TECH AQ 400/CLは究極のハイスループットウェーハ洗浄および乾燥システムです。Cloud-Ready Platformと様々な機能により、オペレータはプロセスを最適化し、ウェーハ処理のスループットを向上させることができます。