中古 AQUEOUS TECH AQ 400 #9352516 を販売中
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AQUEOUS TECH AQ 400は、高性能半導体量生産用に設計された包括的なウェーハ処理装置です。AQUEOUS TECH AQ-400ウェーハ処理システムは、多目的で使いやすい小型フットプリントパッケージで最大限の柔軟性を提供します。シングルウェーハ加工用のオールインワンソリューションで、直径100mm (4インチ)までの幅広いシリコンおよびその他の特殊ウェーハを加工できます。AQ400ユニットの中心にはロボットアームがあり、直径4インチまでのウェーハや材料を扱うことができます。優れた精度と高速性により、アームはローディングからアンロードまで、ウェーハの正確な取り扱いを保証します。これにより、安全で信頼性の高い環境での効率的な処理が保証されます。AQ-400には、ウエハーの取り扱いを効率化するためのビジョンマシンが内蔵されています。このツールは、エッチング、クリーニング、ストリッピング、リソグラフィからCMP、アニールまで、さまざまな用途に対応するように設計されています。AQUEOUS TECH AQ 400は、人員と機器の安全を確保するための高度な安全機能も備えています。これは、高温プロセス中の偶発的なウェーハ露出を防ぐために、内蔵の安全インターロック資産と安全シャットオフ機構を備えています。さらに、AQUEOUS TECH AQ-400は、プロセス温度のリアルタイム監視を提供します。これにより、制御が向上し、より正確な結果が得られます。均一で反復可能な処理を保証するために、AQ400はさまざまなプロセスパラメータを扱うようにプログラムされています。これには、ガスの流れ、温度、圧力、時間、ウェハステージの距離、ロボットアームの挙動などのセットポイントが含まれます。内蔵のシーケンシングモデルにより、ウェーハのスムーズで一貫した処理が保証されます。さらに、AQ-400はリモートコントロールインターフェイスを備えており、ユーザーは遠隔地から機器にアクセスして監視することができ、時間とリソースを節約できます。利便性とユーザーフレキシビリティのために、AQUEOUS TECH AQ 400にはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も装備されており、データの入力と取得が容易になります。さらに、AQUEOUS TECH AQ-400は、システムの運用と保守を可能にするカスタム設計プログラムの形で堅牢なソフトウェアサポートを提供しています。全体として、AQ400ウェハ処理ユニットは、大量の半導体処理に最適です。多様な機能、堅牢なソフトウェアサポート、信頼性の高い精度により、高品質で欠陥のないウェーハのスムーズでコスト効率の高い生産を可能にします。
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