中古 AQUEOUS TECH AQ 400 #9216776 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 400は、超精密エッチング、アッシング、クリーニングなどのプロセス用に特別に設計された最先端のウェーハ処理システムです。ウェーハのサイズや厚さを問わず、最大限のスループパフォーマンスでエッチングや洗浄が可能です。AQUEOUS TECH AQ-400は、特許取得済みのEASYFLOWR®3段階の統合ウェーハプロセスを備えており、最高レベルのエッチング性能と清潔さとほぼゼロウェーハダメージを兼ね備えています。EASYFLOW®の3段階のプロセスには、Etch Stage、 Ascending- Flow™ Stage、 Cleaning Stageが含まれます。エッチングステージでは、ウェーハを調整可能な真空チャックにロックし、システムによって生成される高度なエッチングにさらされます。エッチング剤はウェーハと相互作用し、汚染を取り除き、均等にエッチングされた表面を作成します。次に、ウェーハをAscending- Flow™ Stageに移し、ウェーハ表面から粒子や不純物を除去する超純ガスの精密に制御された流れにさらされます。最後のステップはクリーニングステージです。ここでは、ウェーハは、特許出願中のSHIELD™クリーニングブレードによって生成された回転スクラブ作用を使用して、任意の微量粒子の表面をさらに洗浄する特殊なチャンバーを介して渡されます。AQ400は、超精密エッチングおよびクリーニング作業に最適なシステムです。高精度のEASYFLOWR®プロセスにより、AQ-400は最高のスループパフォーマンスと超低汚染を保証し、最も要求の厳しい超高清浄度要件を満たすことができます。AQUEOUS TECH AQ 400は信頼性が高く、使いやすく、費用対効果が高いため、最高の性能と品質管理が必要なアプリケーションに最適です。