中古 AQUEOUS TECH AQ 400 #9212002 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 400
ID: 9212002
ヴィンテージ: 1994
Batch cleaner Open loop system 1994 vintage.
AQUEOUS TECH AQ 400は、ウェーハ部品やデバイスの製造に効率的かつ信頼性の高いアプローチを提供する、最先端のウェーハ処理装置です。AQUEOUS TECH AQ-400は、他のウェーハ処理システムに関連するコストを削減しながら、生産性を最適化するように設計されています。このシステムには、エッチング、レジストストリッピング、および表面洗浄プロセスを含む銅、タングステン、アルミニウム用の統合されたウェット処理モジュールがあります。さらに、最大8インチまでの大型ウェーハサイズに対応する160ポジションカセットローダー、ローダーから個々のプロセスモジュールにウェーハを取り扱い転送するためのロボットアームを内蔵しています。AQ400は、ウェットエッチング、ドライエッチング、金属蒸着など、さまざまなプロセスパラメータを提供します。流量、温度、露光時間、溶液濃度などの処理パラメータを制御するためのプロセスパラメータをプログラム可能にします。さらに、プロセス中の温度、圧力、濃度レベルをリアルタイムで監視および調整できます。機械には制度化された品質保証ツールが装備されており、湿式加工要件のために日本工業規格(JIS)に従って設計されています。この資産はSEMI安全規格に完全に準拠しており、半導体加工および試験プロセスの電気的および安全要件を満たすように設計されています。Aquous Tech AQ-400は、従来の湿式加工法と比較して、エネルギー使用量を削減し、騒音レベルを低減し、廃水消費量を削減するように設計されています。このモデルはまた、他のシステムと比較して最小限の廃棄物をもたらす少量の化学物質を使用しています。Aquous Tech AQUEOUS TECH AQ 400は、ウェーハ製造に最適で、ウェーハ製造の正確かつ再現可能な測定を提供するように設計されています。その費用対効果の高い機能と高度な技術は、品質を犠牲にすることなく、ウェーハの生産を増やすために探している人に最適な選択肢です。
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