中古 AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 300は、半導体業界の研究者やエンジニアのために特別に設計された先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、閉じた環境での現場および急速な熱処理のために設計されています。AQ300は、各種成膜プロセス、ウェーハ洗浄、レジストコーティングに対応した汎用性の高いソリューションです。AQUEOUS TECH AQ 300は、直径300mmまでのウェーハに対応可能で、最大1100°Cのチャンバー温度を提供します。クリーンアップおよびクリーニング用途には、AQ300は窒素、酸素、アルゴン、水素、ヘリウム、キセノンを提供できる6ガス混合ユニットを備えています。蒸着用途には、アモルファスカーボン、ニオブ、窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化ケイ素などの様々な材料の成長のための汎用性の高いハードウェアが含まれています。AQUEOUS TECH AQ 300は、温度、速度、およびその他のプロセス制御精度のために、MACThermalX、 MACThermalGrowthManager、 MACThermalTR、およびMACThermalSC Cなどのいくつかのソフトウェアプラットフォームと互換性があります。装置は3つの独立したプロセス部屋を特色にします；堆積用の上部チャンバー、脱気洗浄用の下部チャンバー、およびウェーハチャッキング用の独立したサンプルチャンバー。各チャンバーには、10^-2から10^-5 torrまでの圧力を監視するための高精度の石英シャッターバルブと圧力センサーが装備されています。プラントとプロセスの自動化を改善するために、AQ300はデジタルプロセスコントローラ、オートメーションコントローラ、および安全システムと統合されています。温度、圧力、ガス含有量、時間などのプロセスパラメータを監視するための多彩な組み込みセンサーと制御システムを備えています。さらに、品質保証を維持するための組み込みTDLASツールを提供しています。AQUEOUS TECH AQ 300は、半導体業界の高度なプロセス向けに特別に設計された汎用性の高い完全な資産です。半導体業界の研究者やエンジニアのために特別に設計されており、急速な熱処理とプロセス制御精度のための最新の技術を利用しています。ハイエンドモデルは、オートメーションと安全性を向上させるための業界標準の先進技術を提供します。