中古 AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741 を販売中

AQUEOUS TECH AQ 201SCは、System-on-Chip （SoC）デバイス、ロジックデバイス、異種デバイスなどの複雑な半導体デバイスを大規模に生産するために設計された最先端のウェーハ処理装置です。AQ 201SCは、さまざまなウエハサイズのプロセスを実行できる完全自動化されたシングルウェーハユニットです。また、ガリウムヒ素（GaAs）やシリコンオンインシュレーター（SOI）など、様々な基板タイプに対応することができます。機械のコアコンポーネントは、湿式加工モジュール、乾式加工モジュール、クリーンルームモジュール、積載エリアで構成されています。湿式加工モジュールは、脱気、酸化、エッチング、拡散、湿式洗浄、化学洗浄など、さまざまな作業が可能です。乾燥処理モジュールは、化学機械研磨（CMP）およびその他の乾燥化学プロセスを実行することができます。4段階のクリーンルームモジュールはHEPAのろ過を利用して生産のための清浄度の標準を維持し、また湿式および乾式の処理のための高度の化学調理法の管理用具を特色にします。これにより、プロセスオペレータの介入を最小限に抑えてレシピを迅速に最適化できます。さらに、自動化されたマテリアルローディング資産は、安全で正確なマテリアルハンドリングを可能にします。AQUEOUS TECH AQ 201SCは、プロセスアナライザやモデルモニタなどの高度な可視化およびデータ取得ツールを備えています。これらのツールを使用すると、機器のパフォーマンスをリアルタイムで追跡および監視でき、プロセスの最適化とトラブルシューティングを迅速に行うことができます。幅広いウエハサイズの異なる処理ニーズに対応するため、交換可能なプロセスフレーム、チャック、さまざまなプロセスチャンバーなど、さまざまなアクセサリが含まれています。さらに、AQ 201SCは、フォトリソグラフィーシステム、CMPシステム、RTPシステムなどの他の生産システムと統合するためにカスタマイズすることができます。最後に、AQUEOUS TECH AQ 201SCはエネルギー効率が高く、業界最高水準と環境規制を満たしています。これにより、大量生産と最新の半導体アプリケーションの要求の厳しいニーズに最適なソリューションとなります。