中古 APL ADS-200 #9280974 を販売中

APL ADS-200は、最先端の研究施設や研究室で使用されるエピタキシャル蒸着のための先進的なウェーハ処理装置です。その設計により、高い生産性と再現性のある結果を正確に制御することができます。システムの主なコンポーネントは、蒸着チャンバー、ホットプレート、ポンプおよび排気、およびウェーハ輸送機構です。このチャンバーには、加熱されたエッジユニットと蒸着速度を正確に制御するためのメカニズムが装備されています。加熱機は、厚いウェーハと薄いウェーハの両方に均一な成膜を保証します。チャンバー温度は広範囲にわたって調整することができ、堆積する材料の特性を正確に調整することができます。排気ツールは、最大効率と最小粒子生成のために設計されています。ホットプレートは調節可能な温度範囲を備えており、エピタキシャル蒸着のための均一な基板の調製を可能にします。また、成膜後の熱処理や薄膜テープの調製にも使用できます。ウェーハ搬送アセットにより、チャンバーへのウェーハの自動積載が可能です。ハイスループットのために設計されており、一度に最大50個のウェーハを保持することができます。このモデルは使いやすく、コントローラとソフトウェアで自動化を可能にします。コントローラは手動操作と自動操作の両方をサポートしています。マニュアルモードでは、蒸着速度、温度、厚さなどのパラメータを直接設定できます。自動モードでは、最大8種類の化合物および要素沈着レシピをカスタマイズできます。これにより、ユーザーはウェーハに適用する予定のフィルムの特性を事前に決定することができます。ADS-200は研究および実験室の設定の範囲の最高の性能のために設計されている非常に信頼でき、強い装置です。幅広い要因にわたる比類のない制御と精度により、高度なウェーハ処理作業に最適なツールです。