中古 AMERICAN METAL WASH EV100 / EV100-R #9233519 を販売中
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AMERICAN METAL WASH EV100とEV100-Rは、さまざまな半導体アプリケーション向けに設計されたウェーハ処理システムです。この装置は、ウェーハ表面に必要な材料を洗浄、エッチング、および堆積するために、化学プロセスと熱処理の組み合わせを利用しています。このシステムには、ウェーハの迅速かつ正確な配置と除去を容易にする高度なロボティクスが装備されています。単位の最初の部品は化学プロセスです。これには、ウェーハを独自の銅ベースの酸浴で処理することが含まれます。これは、不要な汚染物質を除去し、酸化の25Uない表面仕上げを保証するために特別に設計されています。機械はまた表面の清潔さを高めるためにバイナリクリーニングが可能です。EV100-Rツールは、ロボット支援プロセスを利用して手作業を削減し、効率を向上させます。アセットの2番目のコンポーネントは熱処理です。これは特別に設計された真空モデルを使用して、ウェーハ処理中に正確な熱制御を提供します。この装置には温度モニターとガス流量調整機能が装備されており、制御された一貫性のある環境を確保します。さらに、このシステムはアクティブ冷却機能を備えており、ウェーハの熱損傷を防ぎます。ユニットの3番目のコンポーネントは、オプションの堆積能力です。これは、ウェーハ表面に様々な材料を堆積するために高度なマスク蒸着技術を使用しています。材料には、ダイヤモンド、窒化ガリウム、窒化チタンなどがあります。この機能は、ユーザーがウェーハの特性をカスタマイズして強化できるようにすることで、マシンに追加の機能を提供します。AMERICAN METAL WASH EV100とEV100-Rは、高品質の部品を製造するために設計された高度なウェーハ処理システムです。このツールには、ウェーハ表面に必要な材料をクリーニング、エッチング、および堆積するために必要なすべてのコンポーネントが含まれています。統合された高度なロボット工学と温度およびガス流量制御により、ユーザーはプロセスをカスタマイズして正確な結果を得ることができます。オプションの蒸着機能により、アセットの用途がさらに拡大します。
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