中古 AKT / MKS Astron HF #293608419 を販売中

AKT/MKS Astron HFは、ハイエンドのウェーハ加工装置であり、さまざまなウェーハベース製品を作成するための主要なツールの1つです。このシステムは、高温酸化、エピタキシャル増殖、デバイス製造などの用途において、あらゆるサイズと厚さのウェーハに完全に自動化されたプロセスを提供します。このユニットは、コンピュータ制御、高精度、再現可能な処理条件を迅速なサイクル時間で提供し、スループットを最大30％向上させます。AKT Astron HFは、自動化されたプロセスステップと複雑な運用パラメータの統合環境を提供することにより、ウェーハプロセス機能を拡張するように設計されています。機械は急速なアニーリング、可変的なポンプ速度、完全な流れ制御および急速な圧力安定化を含んでいる選択が装備されています。さらに、250〜800°Cの範囲で予熱と冷却を行い、酸化物形成率を向上させます。このツールのデジタルボードにはPIDコントローラが装備されており、温度と圧力を完全に制御できます。さらに、このアセットはICPツールのような他のデバイスと統合することで、ウェーハ処理の制御性、精度、再現性を高めることができます。MKS Astron HFは、プロセスチャンバーとロードロックチャンバー間でウェーハを転送するためのウェーハハンドリングモデルを組み込んでおり、安全で安全なローディング、アンロード、およびハンドリングを可能にします。また、プログラム可能な自動エンドポイント認識装置も備えており、完全な柔軟性を提供します。さらに、このシステムの安全機能には、圧力インターロックと過熱保護が含まれます。また、内部洗浄機能を備えており、各ウェーハを個別に洗浄するように設定することができ、汚染のリスクを低減します。ユニットはまた、レシピフォーマットの範囲をサポートしており、オペレータがプロセスパラメータとフロー制御変数の両方を制御することができます。さらに、マシンによって生成されたデータを使用して、プロセス条件とサイクルタイムを追跡および監視できます。全体として、Astron HFはウェハベースの幅広いプロセスでウェーハを処理するために必要なすべての機能と機能を提供します。このツールは、プロセススループットを向上させ、温度性能と精度を向上させ、信頼性と再現性の高い結果を保証します。効率的で制御性の高いウェーハ処理ソリューションを必要とするエンジニアや研究者に最適です。