中古 AKT / MKS Astron HF #293608418 を販売中

ID: 293608418
Remote plasma generator.
AKT/MKS Astron HFは、高精度デバイスの製造に使用する高度なウェーハ処理装置です。両面ウェハ用に特別に設計されており、高精度で高速な乾燥プロセスを提供します。AKT Astron HFにはデュアルレーザーウェーハアライナーが搭載されており、加工前にウェーハの両面を正確に集中させることができます。これにより、デバイスの精度が生産プロセス全体にわたって維持されます。さらに、このマシンには、プロセスのパラメータを正確に制御するオンボードプロセスコントローラが装備されています。これには、オーブン温度、気流、圧力、乾燥時間が含まれます。ウェーハエッチングのために、MKS Astron HFには、高度なエッチングシステムも含まれています。UVレーザーを使用して、正確なパターンやデザインにウェーハを正確にエッチングします。このエッチングは精密であり、高精度なデバイスを形成するためには精密なエッチングが不可欠です。さらに、エッチングユニットは、さまざまなエッチングパターンを作成するために、深さ、角度、速度などのさまざまな条件に調整することができます。また、Astron HFはクリーンルーム内蔵の機械を備えており、非常にクリーンな部品の生産を可能にします。このツールは、フィルタアセットを使用してウェーハに到達できる粒子の量を減らし、ウェーハの表面に汚染物質が転送されないようにします。さらに、全モデルは汚染を低減するように設計されており、生産プロセス全体を清潔で効率的に保ちます。最後に、装置は高度なオートメーションシステムを備えており、高精度デバイスの迅速かつ正確な生産を可能にします。このオートメーションユニットは、さまざまな生産ニーズに対応するために完全にカスタマイズすることができ、効率を最大化するために複数のジョブを同時に実行することができます。全体として、AKT/MKS Astron HFは、高精度デバイスを生産するように設計された高度で高性能なウェーハ処理機です。高精度で高速な乾燥プロセスを提供し、デュアルレーザーウェーハアライナーを装備し、ウェーハ上の汚染物質を低減するクリーンルームツールを内蔵しています。また、高度な自動化モデルを搭載し、高速かつ高精度な生産を実現しています。
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