中古 AKT / MKS Astron HF #293608394 を販売中

AKT/MKS Astron HFは、さまざまな用途で使用できる最先端のウェーハ加工装置です。この多機能ソリューションは、高度な技術と簡単な操作のユニークな組み合わせを提供し、ユーザーは半導体デバイス製造プロセスで最高の精度と品質を達成することができます。このシステムは、高度で信頼性の高いリソグラフィーユニットであるAgileMask （TM）リソグラフィーステーションを搭載しており、次世代半導体デバイス製造のための高精度ウェハの製造に使用できます。単段空撮機と特許出願中のスキャンミラーを使用し、最大2ミクロンの解像度で極めて正確なパターンを生成することができます。このアセットは、高スループットと高解像度スキャンが可能なASMLスキャナを備えており、高効率で信頼性の高い生産を可能にします。AKT Astron HFには、超微粒状ウェーハ表面や高分解能フィルム成膜が可能な最上位電子ビームおよびコーティングモデルも含まれています。この装置はデュアル電子ビームシステムを使用しており、高精度のパターニングとコーティング、および非常に高速な電子ビーム加速と減速を保証します。OPPS （Optical Periodic Polishing Unit）と組み合わせて使用することで、サブミクロン分解能で非常に均一で欠陥のないパターンを生成できます。MKS Astron HFは、コア処理機能に加えて、さまざまなオートメーション機能と高度なソフトウェア機能を備えています。専用のウェーハデブリーフィングソフトウェアにより、ユーザーは処理サイクル全体を簡単に監視およびレポートすることができ、生産ラインのパフォーマンスを最適化できます。このツールはまた、スループットを最大化するために、自動的に動作パラメータを調整するために統合されたAutotuningアセットを備えています。最後に、このモデルは、リモートアクセスとデータ管理、およびリモートコントロール出力の使用を可能にする統合コントローラによってサポートされています。全体として、Astron HFは、高度な技術と簡単な操作を組み合わせた強力で洗練されたウェーハ処理装置をユーザーに提供します。このシステムを利用することで、ユーザーは半導体生産プロセスにおいて最高の精度、品質、スループットを達成することができます。