中古 AIWA AU-90CO #9086459 を販売中
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AIWA AU-90COは、半導体産業のための高品質で費用対効果の高いウェーハ製造および加工ソリューションを提供するために設計された最先端のその他のウェーハ加工装置です。このシステムはモジュール構造で構築されており、カスタム生産ラインでの容易な統合と高い構成性を可能にします。本体の主成分は4軸モジュラーツールチェンジャーで、AIWA製品ファミリーのさまざまなシングルパスまたはマルチパス処理ツールで構成できます。ウェットエッチング、ドライエッチング、窒化物成分、サーマルアニーリング、スパッタコーティングなど、さまざまな機能の組み合わせが可能です。マシン内のもう1つの主要なコンポーネントはカセットトランスポートであり、シーケンシャルパス処理のためにウェーハカセットを同期させてアップリフティングして提供する責任があります。このツールは、スループットの向上、高精度、排水の削減を目的としています。0。1um分解能のサーボベースの制御アセットを備えており、プロセスツーリングとウェーハの正確なアライメントを可能にし、優れた結果を得ることができます。また、設定可能な入出力システムにより、水とエネルギーの両方の消費を最小限に抑え、人員、機器、製品を保護するための高度な安全メカニズムを備えています。正確なプロセス結果を得るために、このモデルはユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを統合して操作できます。このインタフェースにより、基板温度、ガス圧力、湿度など、多くのユーザー定義のパラメータが可能になります。これにより、プロセスレシピの容易な採用が可能になり、プロセス制御を容易にするためのツールと基板のリアルタイムビューを提供します。その印象的な機能を考えると、AU-90COはさまざまなウェーハ製造作業に最適です。コスト効率、精度、安全性を兼ね備えているため、あらゆる半導体メーカーにとって貴重な資産となっています。モジュラー構造、既存の生産ラインへの容易な統合、およびプロセスツールの高い構成可能性を備えたAIWA AU-90COは、ウェーハ処理のニーズに確実で効率的な選択肢です。
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