中古 AIWA AU-501CO #9261216 を販売中

AIWA AU-501COは、高度な半導体デバイス製造の要件を満たすように設計された汎用性と高性能のウェーハ処理装置です。独自のモジュラー設計により、エッチング、スパッタリング、蒸着、酸化、フォトリソグラフィ、フォトレジストストリッピングなど、幅広いプロセスを実行AU-501COます。このシステムは、近接効果補正（PEC）、エッジ分離（EI）、粒子干渉封じ込め（PIC）、拡散防止（DP）など、さまざまな補助プロセスにも使用できます。AIWA AU-501COは、4インチの最小ウェーハサイズで多種多様なウェーハサイズを処理できる高精度コアエンジンを採用しています。高精度コアエンジンにより、± 2umの再現性と± 1°の回転精度でウェーハ間の正確な移動を可能にします。このユニットはまた、プロセスパラメータの包括的なプログラミング可能な範囲を提供し、機械の完全自動運転を可能にします。AU-501COは、プロセスの高度な制御と監視を提供する高度な制御システムのスイートを備えています。その中心にあるのは、自動プロセス制御監視ツール（APCMS）で、ウェーハ負荷診断、プロセスシーケンス設定、アラーム&モニタリング、フォルト検出と分離などの多くの機能を提供しています。このアセットには、最大4GBのデバイスデータを格納できる強力なデータ取得およびプロセス分析モデルも備えています。AIWA AU-501COは、プロセスシーケンスデータを視覚的に確認できるグラフィカルユーザーインターフェイスなど、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を提供しています。この機器には自動停止エラー機能も搭載しており、プロセスに障害が発生した場合の迅速なリカバリが可能です。さらに、レシピ代替アラーム機能を使用すると、システム全体をリセットする必要なく、コンポーネントを簡単に代替できます。全体として、AU-501COは高度で信頼性の高い半導体デバイス処理ユニットであり、高度な半導体デバイス製造の最も厳しい要件を満たすことができます。このマシンは、効率的かつ正確なプロセス制御と監視を可能にするモジュラー設計を採用していますが、幅広いユーザーフレンドリーな機能により、専門家でないユーザーでもツールを簡単に使用できます。