中古 AIT VRS-150 #293648375 を販売中

AIT VRS-150は、SiC-SiO2、 Si LPCVD、ポリシリコン蒸着、エッチングおよびストリッピング用のシングルパスプロセスおよびマルチパスプロセスを実行するために設計された完全自動ウェーハ処理装置です。その高度なソフトウェア制御プロセスは、バッチ間のバリエーションを最小限に抑えて、優れた成膜とエッチングの均一性を達成することができます。マルチステーションプリアライナー、ウェーハリフター、ウェーハプリアライナーを搭載し、ウェーハの正確な取り扱いを実現しています。さらに、このユニットにはいくつかの真空チャンバードアが含まれており、それぞれがメインマシンドアと連動しており、追加の安全性と冗長プロセスを提供します。このツールは3つの個々のロードロックと統合されており、それぞれが最大150mmのウェーハをサポートしており、シングルパスプロセスとマルチパスプロセスが可能です。さらに、PECVDプロセスを正確に制御するための高解像度Heビーム電流モニタを備えています。VRS-150は、プロセス変動による歩留まり損失を低減する重要なプロセス制御を備えています。複数の圧力センサ、温度センサ、水晶RFコントローラと統合されています。さらに、このモデルには4ゾーンサセプタリフトとサセプタチルトコントロールが含まれており、堆積膜の高い均一性を確保しています。AIT VRS-150では、機器の安全運転を確保するため、緊急停止ボタン、ガス安全カットオフ、ガス安全リセットなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、このシステムは、プロセスの安全性と危険ガス監視のためのガス監視ユニットで設計されており、重要な処理環境でのより安全な運用を可能にしています。全体として、VRS-150は、SiC-SiO2、 Si LPCVD、ポリシリコン蒸着、エッチングおよびストリッピングのための信頼性の高いシングルパスプロセスおよびマルチパスプロセスを提供できる堅牢で信頼性の高いウェーハ処理ユニットです。