中古 AIT VRS-150 #293648374 を販売中

AIT VRS-150は、サブミクロン精度の高い大量プロジェクト向けに設計された、他の先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、最大150mm径のウェーハを取り扱うように設計されており、シリコンや有機材料など、さまざまな材料に対応できます。多軸ロボットポジショニングマシンを採用し、45mm×45mm×10mmの合計範囲で移動する± 1。5 μ mのXYZ位置決め精度を提供します。これにより、各ウェーハの正確な配置が保証され、一貫した処理結果が保証されます。このツールには、6 μ mの小さな微細な幾何学的特徴を検出して見つけることができる統合ビジョンアセットが含まれています。これにより、高精度と超高速率の両方の処理が可能になります。さらに、このモデルは他のウェーハ処理システムと容易に統合できるように設計されています。VRS-150は、優れた機械部品を使用して、堅牢で信頼性の高い性能を保証します。装置は2つの主要なセクションから成っています。最初のセクションは、自動化されたウェーハハンドリングと配置のために設計されたメインプローバーです。このセクションには、ウェーハの積み下ろしを支援するための真空ラインが装備されています。2番目のセクションは、ウェーハが洗浄、酸化およびその他の処理プロセスを経る不動態化チャンバーです。AIT VRS-150は自動真空システムを備えており、プロセスの各ステップで真空力を制御できます。また、各プロセスステップの後に完全なウェーハ除去を保証する「ノズルイジェクト」ユニットも含まれています。それにまた異なった材料および適用を収容する容易に調節可能なプロセスパラメータがあります。このマシンは、さまざまなセンサーと安全機能を備えており、オペレータのエラーを低減し、スループットを向上させ、工具の寿命を延ばすことができます。部品の多くはコンパクトで、低コストでスループットの高いウェーハ処理に最適です。このモデルは、ロボットとプローバーの両方のステージ用の自動洗浄装置で、ウェハサイズと厚さの範囲に合わせて簡単に調整可能な光源を備えています。さらに、システムは、一貫した結果を確保するために過酷な条件で制御された大気中で動作するように設計されています。VRS-150は、大量のアプリケーションで高精度を確保するために設計された多くの機能を備えた高度な他のウェーハ処理ユニットです。その多軸ロボットと統合ビジョン機能はサブミクロンの精度を提供し、真空機械とノズルは自動ウェーハ処理を提供します。このツールは、低コストで長寿命のために設計されています。さらに、センサーと安全機能の範囲は、使いやすく、安全で信頼性の高い資産を提供します。