中古 AIT VRS-150 #293648373 を販売中

AIT VRS-150は、さまざまな半導体製造用途に幅広いソリューションを提供するウェーハ加工装置です。このシステムには、統合誘電エッチングマシン、多酸エッチングマシン、および統合フォトマスクのリソグラフィおよび蒸着プロセスが装備されています。これにより、高度な集積回路（IC）および誘電パッケージの製造に必要なすべての主要機能が1つのプラットフォームで利用可能になります。VRS-150は、超薄型誘電体エッチング、多酸エッチング、フォトマスクのリソグラフィー、プラズマベースの蒸着など、さまざまな強化されたプロセス機能を提供します。フォトマスクリソグラフィーモジュールは、信頼性の高い高解像度パターンレプリケーションとマスク作成機能を提供します。プラズマベースの蒸着プロセスは、高いスループット、均一性、再現性を提供するように設計されています。また、自動監視機能と高度なデータ収集機能を備え、迅速なプロセス最適化を実現しています。これにより、生産を効率的に最適化し、生産量を最大化し、廃棄物を削減し、コストを削減することができます。AIT VRS-150は、人間工学に基づいて設計されたオペレータインターフェイスによってサポートされ、包括的で直感的なコントロールを提供します。ユーザーインターフェイスは、8つのフルカラーグラフィックスからの情報を表示する大型のカラーLCDを備えており、プロセスシーケンスからのステータスと操作情報を提供します。最適化されたプロセス機能に加えて、VRS-150は組織全体の柔軟性と拡張性を提供します。このソフトウェアは、さまざまなソフトウェアソリューションで動作するように設計されていますが、マシンの拡張性により、ユーザーはサイズに関係なく特定の要件を満たすことができます。要するに、AIT VRS-150は、単一のプラットフォーム内で幅広いプロセス機能を提供する包括的なウェーハ処理ツールです。柔軟性、拡張性、信頼性を提供し、半導体製造アプリケーションに最適なソリューションです。統合されたオートメーションシステムとデータ収集機能は、生産を効率的に最適化するのに役立ちますが、人間工学に基づいて設計されたユーザーインターフェイスはユーザーフレンドリーな操作を保証します。