中古 AIT VRS-150 #293648371 を販売中

AIT VRS-150は、最も要求の厳しい半導体アプリケーションのニーズを満たすように設計された汎用性と信頼性の高いウェーハ処理装置です。このシステムには、完全に自動化された搬送ステーションと最先端のロボットアームが含まれており、各ウェハをさまざまなプロセス段階で簡単に操作できます。ロボティクスユニットは、独自のアルゴリズムを使用してチップ全体とウェーハの進捗状況を監視する複数のビジョンシステムによってさらに強化されています。VRS-150は、8インチおよび12インチのウェーハを含む幅広いウエハサイズとタイプを処理できます。また、75〜300 μ mまでのウェーハの厚さにも対応できます。この機械にまたアニーリングか他の高温処置を必要とする適用のために完全である175°Cまでの最高のウエハの温度があります。このツールのコントローラはIBM互換CPUで、オンボードウェハハンドリングソフトウェアとグローバル仕様パッケージプログラムの両方に2つのドライブを備えています。パッケージプログラムは、手動制御と自動制御の両方を使用して、プロセスの各ステップのパラメータのカスタム構成を可能にします。コントローラはさらに、オンラインモニタと制御、プロセッサのパフォーマンスの調整、アラームとエラーロギング（リアルタイム）が可能です。AIT VRS-150には、さまざまなプロセスツールも用意されています。これらのツールには、ドライエッチング加速器、化学蒸着（CVD）炉、オーブン、およびさまざまなウェーハ洗浄ツールが含まれます。各ツールは、高品質の製品を生産するだけでなく、汚染リスクを最小限に抑えるように設計されています。CVD炉はさらに最適化され、低温低圧プロセスを提供し、高性能コンポーネントに最適です。要するに、VRS-150は高度で汎用性の高いウェーハ処理資産です。使いやすいコントローラ、自動転送ステーション、堅牢なロボットアーム、ハイテクプロセスツールを備えているため、幅広い高性能な半導体アプリケーションに最適です。