中古 AIT VRS-150 #293648369 を販売中

AIT VRS-150は、さまざまな基板上の薄膜や超薄膜の精密、高度に制御された成膜、エッチングを可能にするために設計された最先端のウエハ加工装置です。ウェットおよび乾燥、大量および少量のウェーハ処理アプリケーションの広い範囲に理想的なソリューションです。VRS-150は、自動化された統合されたプロセスツールと高度な技術を備えており、ユーザーは最も困難なプロセス環境で最高レベルのプロセス制御と再現性を達成することができます。AIT VRS-150は、モジュラー、高度なハードウェア、高度なソフトウェアおよびプロセス技術、およびさまざまな指定された製造部品を備えています。このシステムは、優れた均一性とプロセス制御を提供し、ユーザーに望ましい結果を達成するための高効率のユニットを提供します。高度なハードウェア構成により、ユーザーはウェーハ処理を正確に管理できます。VRS-150は、高度な加熱機、高度なアブレーションおよびエッチングシステム、化学分析システム、および自動プロセスレシピをサポートするためのその他の高度なプロセスミドルウェアも備えています。このツールは、スパッタリング、蒸発、原子層蒸着（ALD）などのさまざまな薄膜蒸着技術を実行することができます。また、リアクティブイオンエッチング（RIE）、化学機械研磨（CMP）、ケミカルエッチングなど、さまざまなエッチング技術を実行することができます。また、AIT VRS-150は、高度な化学分析およびプロセス監視システムをユーザーに提供し、プロセス制御と精度を提供します。このアセットは、プロセスパラメータを監視および調整し、結果として生じる薄膜の品質を検証するために使用できます。VRS-150上の自動化されたプロセスレシピとプロセス開発モードは、ユーザーに使いやすいプロセス開発ツールを提供します。また、リアルタイムのプロセス制御、分析、フィードバック制御、データ分析をユーザーに提供します。AIT VRS-150は、さまざまな薄膜成膜技術のための完全に自動化されたプロセス機能をユーザーに提供し、ユーザーに業界で比類のないプロセス洗練、再現性、およびプロセス制御のユニークな組み合わせを提供します。高度な機能に加えて、VRS-150は汎用性と費用対効果が高く、薄膜蒸着ニーズに対応する完全なソリューションをユーザーに提供します。これは、簡単なバッチプロセスから厳しい連続生産実行まで、あらゆる種類のウェーハ処理アプリケーションに理想的なソリューションです。