中古 ADVANTECH MARK-400 #293667754 を販売中

ADVANTECH MARK-400は、製造および研究用ウェーハ加工のニーズを満たすように設計された先進的なウェーハ加工装置です。これは、今日のウェーハ処理で利用可能な最高のスループット性能を提供します。MARK-400は、超低k、 SOI、 MEMSを含むすべてのタイプのウェーハを処理する完全に自動化されたウェーハハンドリングシステムを備えています。厚膜成膜、急速熱処理、ウェットエッチング、ドライエッチング、拡散など、幅広いプロセスアプリケーションを提供します。このユニットは、高い歩留まりと信頼性の高い処理を保証する最先端の技術を備えています。ADVANTECH MARK-400の高度なプロセスモニタリングおよび制御マシンは、ユーザーがリアルタイムでプロセスパラメータを監視することができ、ツールが制御され、プロセスが仕様にあることを保証します。データ分析機能により、ユーザーはさまざまなステップからデータを分析し、必要に応じて是正措置を講じることができます。MARK-400は、最大200mmまでの幅広いウエハサイズに対応でき、1つのターンキーでプロセス間を簡単に変更することができます。オプションのビジョンアセットは、基板表面のコードマーカーを読み取るように設計されており、効率的な基板識別とプロセス制御を可能にします。ADVANTECH MARK-400は、さまざまなツールを使用して、正確で信頼性の高い処理を保証します。2つの独立したリニアステージ、堅牢で安全なフレーム、およびベル、スピナー、高速サーマルプロセッサ、ポリッシャーなどの拡張ツールキットを備えています。このモデルの統合温度コントローラは、複数のプロセスで安定した温度を維持するように設計されています。MARK-400はまた特別な適用のための装置をカスタマイズするための多数の付加的な特徴を提供します。これらには、プロセス制御、レシピマネージャ、およびデータ管理ツールが含まれます。ユーザーは、プロセスパラメータ、ツールソリューション、およびソフトウェアインターフェイスをカスタマイズすることもできます。したがって、ADVANTECH MARK-400は、ウェーハの製造と研究の厳しいニーズを満たすことができる効率的で信頼性の高い他のウェーハ処理システムです。高度なプロセス監視および制御ユニット、広範なツールセット、および統合された温度コントローラにより、高度なウェーハ処理に最適です。