中古 ADT 977 #293621315 を販売中

ADT 977ウェーハ加工装置は、さまざまなサイズと厚さのウェーハを輸送および処理するために特別に設計された、高性能で自動化されたシステムです。このユニットは、ガントリー式輸送機、静止ボンネット、ロードロック、複数のプロセスチャンバー、およびロードポートチャンバーで構成されています。トランスポートツールは、xyテーブルドライブとリニアモータ技術を組み合わせて駆動され、基板の位置決めとチャンバーから基板の迅速な移動を正確に制御できます。静止ボンネットには、複数のマスフローコントローラを備えたガス配分ネットワークがあり、プロセスと洗浄ガスを正確に制御します。アセットには高性能ウェーハチャックが組み込まれており、アプリケーションに基づいて真空または大気チャックの選択を指定することができます。結晶化されたグラファイトコーナーで設計された加熱されたロードロックは、手動セレクタバルブと自動化されたゲートバルブの両方を備えており、チャンバー内の圧力を正確に制御して迅速に切り替えることができます。977のチャンバーは、成膜、エッチング、リフトオフ、酸化、注入、洗浄など、さまざまなプロセスを実行することができ、非常に構成可能です。プロセスモジュールはすべてメインコントロールモデルに接続することができ、圧力、温度、およびその他のパラメータを正確に設定できます。ロードポートチャンバーには、清潔で自動制御された搬送ポートが装備されており、プロセスチャンバへの制御されたアクセスを提供します。ADT 977には、ビデオ監視、自動レシピ機能、包括的なユーザーインターフェイスが含まれており、プロセスを簡単かつ直感的に操作できます。また、緊急停止ボタン、グローバルシャットオフ機能、インターロックスイッチ、および予期せぬ事故や潜在的な事故に対する最適な保護を提供するように設計された統合安全機能を備えています。977ウェーハ処理システムは、ウェーハの自動処理、搬送、処理のための費用対効果の高いソリューションを提供します。これは信頼性が高く、使いやすいユニットで、マイクロエレクトロニクス業界の幅広い用途に適しています。