中古 AAT 9600 #155478 を販売中

AAT 9600は、高品質で均一なウェーハを製造するために特別に設計された「他のウェーハ処理装置」です。このシステムは、製造されたウェーハが市場で入手可能な最高の質感品質を確保するために、超低面粗度の値を備えています。9600は小さいから大きい（200mmまで）まで及ぶ異なったサイズの基質を処理できます。最上位のMetz Technologies P90回転電気めっきヘッドは、均一な厚さ、平面化の均一性、およびギャップ充填の改善を保証します。基板は高精度の位置ステージに保持され、ウェーハのすべての部分が均一に処理されます。プロセス制御機能により、蒸着速度、厚さ、均一性を正確に調整できます。AAT 9600は、アラームレポート、オートキャリブレーション、リモートモニタリングなど、多くの自動制御も備えています。これにより、ユニットをリモートで監視し、操作の効率を向上させることができます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に制御し、ツールを最適化したパフォーマンスのためにプログラムすることができます。ウェーハ処理能力の面では、9600はキャビティ充填、堆積、およびコーティングを行うことができます。また、CMP （Chemical-Mechanical Planarization）、裏面プラズマ洗浄、ケミカルエッチングなど、多くの後処理ステップを実行することができます。これらのプロセスは、精密誘電膜、スパッタリングおよび研磨、およびテクスチャリングの堆積にも使用でき、高品質のウェーハを保証します。全体的に、AAT 9600は業界で最高の表面品質、規則性、均一性を備えたウェーハを製造するように設計されています。精密なプロセス制御と自動化機能により、最適なパフォーマンスとコスト削減を実現します。さらに、サイズの異なる基板を加工することができ、信頼性の高い高品質ウエハの製造に最適です。