中古 VEECO MOD GEN II #9269863 を販売中

VARIAN/VEECO MOD GEN II分子ビームエピタキシー（MBE）装置は、ナノ構造の製造とヘテロ構造の高精度ドーピングを提供する強力な高度な堆積ツールです。低圧と高濃度の超高真空を組み合わせて使用し、汚染を最小限に抑えながら様々な材料の蒸着を最高レベルで制御します。このシステムは、幅広い温度設定を備えた個別に制御された環境と、高度な噴出セル・ユニットを提供します。その中心には、複雑なナノ構造の構築を支援し、材料の広い範囲の配信のための回転可能な2軸の上昇マシンがあります。制御された環境は、クローズドループ温度ツールによって維持され、基板温度を数百°Cから10K以下まで正確に制御できます。これは、オプションの空気圧制御温度コントローラを使用することでさらに改善することができます。統合された3 ゾーンEffusionセルアセットは、さまざまな材料タイプとフラックスレートに対してユーザー設定可能です。このモデルには、in-situガス脱ガスやヒーター、in-situ制御および監視機器などのさまざまな追加アクセサリを装備することもできます。また、VEECO MOD GEN IIは、プロセス監視システムを備えており、汚染の可能性を継続的に監視および記録し、ユーザーがプロセスをより大きな制御できるようにします。これは、製造プロセスの精度と効率を高めるための貴重なデータを提供することができます。自動化されたグレーディングユニットにより、スループットが大幅に向上し、最大8つの4インチウェーハを同時に処理できます。機械はまた沈殿の調理法と事前にプログラムすることができ、容易な操作およびセットアップのための使いやすいインターフェイスを提供します。VARIAN MOD GEN II MBEツールは、材料沈着を制御し、正確に操作するための汎用性とコンパクトなツールです。高精度とスループットを最大化するために、幅広い温度設定と追加の安全機能を備えているため、ユーザーは高品質のナノ構造を迅速に作成できます。III-VおよびIV-V化合物半導体、ナノテクノロジー、量子ドットシステムの研究開発に最適な成膜ツールです。