中古 VEECO GEN III #293627903 を販売中

VARIAN/VEECO GEN IIIは、高度な蒸着のための精密な原子反応環境を提供する分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。これは、レイヤーまたはデバイス内の好ましい場所に個々の分子または原子を正確に配置することによって行われます。VEECO GEN IIIシステムは、独自の超高真空環境を使用して、精密で高純度で均質な結果を生成し、さらなる精製または拡散プロセスの必要性を完全に排除します。VARIAN GEN IIIは、3つの主要ユニット構成で提供され、さまざまなタイプのMBE蒸着タスクに対応します。シングルウェーハマシンは、シングルウェーハ実験に最適な加熱サセプター付きのシングルウェーハホルダーを備えています。一方、2ウェーハツールは、独立した発熱素子を備えた2つの半独立型ウェーハホルダーを提供しているため、ユーザーは両方のウェーハに接続して入金することができます。3ウェハアセットはハイスループットのために設計されており、簡単なローディング/アンロードステーションにより、ユーザーは3つのウェーハとデポジットを素早く挿入できます。この構成は、半導体デバイスやディスプレイなどの大面積デバイスに最適です。すべてのGEN IIIシステムは、圧力、温度、フラックスなど、蒸着プロセスのあらゆる側面を完全に制御します。また、このシステムには冷却モデルが内蔵されており、デバイスによって生成された熱が放散されます。この冷却装置は、VARIAN/VEECO GEN IIIシステムの強力なフラックス供給と相まって、蒸着が可能な限り正確かつ再現可能な速度で行われることを保証します。ウェーハサイズに関しては、VEECO GEN IIIは幅広いウェーハに対応しており、直径200mmまでのウェーハに対応できます。また、搬送・カセットシステムを内蔵しており、最大12個の加工ウェハの取り扱いと搬送が容易に行えます。VARIAN GEN IIIには、不要なバックグラウンドガスを迅速かつ正確に識別するための高感度四極質量分析計と、MBEプロセス全体を合理化および強化するためのさまざまな自動化ツールがさらに装備されています。全体として、GEN IIIは市場で入手可能な最も先進的なMBEシステムの1つです。フラックス配送、ウェーハおよびデバイスの互換性、オートメーション機能、およびユニット構成の汎用性により、幅広い先進的な研究開発プロジェクトに最適です。