中古 VEECO Gen II #9194612 を販売中

VEECO Gen II
製造業者
VEECO
モデル
Gen II
ID: 9194612
ウェーハサイズ: 3"
MBE Growth system, 3" AlGaAs Laser InGaAsP Vacuum: Growth chamber (GC) Triode ion pump: 400 l/sec Buffer chamber (BC) Triode ion pump: 200 l/sec (2) TSP Controllers Loadlock chamber (LC) (100) CTI Cryotor cryopumps (2) Vacshorption pumps Ventury pump In situ and calibration tools: RHEED System: 0-10 keV RHEED Oscillation growth rate calibration system Cells: EPI Valved cracker with valved controller Cable Riber three zone P Valved cracker with valve controller Power supply (3) 400g Sumo cells Ga, In, Al (2) Dopont cells Dual electronic equipment rack, 19" (12) Solenson DC power supplies 2704 Dual channel Eurotherm controller Substrate and heated station (2) DC Power supplies Substrate heater Heated station Other tools: Ircon optical pyrometer Growth chamber and beam flux (2) GP Ion gauge controllers Buffer and loadlock chamber RHEED Power supply RGA Power supply unit TEK Scope Riber P valved cracker valve controller Riber P cracker power supply Pyrometer port heated Substrate manipulator controller Loadlock chamber Lamp power and controller AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Chart record mounted RHEED Oscillation recording Trolley for substrate handling.
VARIAN/VEECO GEN II分子ビームエピタキシー(MBE)装置は、高品質の半導体材料の研究開発に使用される画期的な技術です。これは、最適な性能と信頼性を確保するために、これらのデバイスの生産のための卓越したレベルの制御、精度と精度を提供します。このシステムには、材料ドーピング、堆積、および構造の成長のためのVEECO GEN II MBEプロセッサが含まれています。このプロセッサは、超高真空環境を実現し、幅広い基板およびソース構成を動作させるように設計されています。このユニットにはオプションのAE VEECO Long Body Sourceも含まれており、高出力で分子ビームの均質性に優れているため、正確かつ正確なMBE結果が得られます。次のメインユニットのコンポーネントが含まれています:1。真空チャンバー-メインチャンバーは、超高真空環境下で動作するように設計されており、優れた均一性と霧化で材料層の堆積と成長を可能にします。2.基板ソース-必要な材料や規格(システリン/アモルファスなど)に応じて、多数のソースが利用可能です。精度を向上させるために、オプションのリファレンスとデスティネーションソースを使用して、成長レベルを最適化できます。3.ソース構成-ソース構成には、イオン源、電子ビーム源、反応源、およびさまざまなMBEプロセスに対応する埋め込みソースが含まれます。4.プロセス制御-可変レートプロセス制御により、基板沈着または成長速度を正確に調整できます。オプションのAutotuneモジュールを使用すると、プロセス制御を改善し、生産性とコストを削減できます。5.サンプルアライメント-サンプルアライメントマシンは、ウェーハとその層を正確かつ再現可能に位置決めし、最適な均一性と精度を提供します。6.真空モニタリング-このツールは、in-situ湿度および蒸着セル、アナライザ、およびゲージを使用して、圧力、温度、および残留ガスのレベルを監視します。VARIAN GEN II MBEアセットは、迅速なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなデザインと直感的なコントロールを提供します。モデルはまた、特定の要件に応じて、さまざまな構成で提供されます。最新のMBE技術を活用することで、優れた品質と信頼性のために最適な精度と精度を提供することができます。
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