中古 VEECO Gen II #9173265 を販売中
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ID: 9173265
MBE Growth system
Chamber with (8) source flange size 4.5”
Sources: Al, Ga, In, Be, Si, GaTe, As, Sb
(2) Ion pumps:
Main chamber (600 l/m)
Preparation chamber (400 l/m) with (2) power supplies
CTI8 Cryo pump for main chamber
6” Turbo pump with dry pump for load lock
(2) Ti-Sublimation pumps
With power supplies in base of main chamber
Sample manipulator with servo motors for rotation, 2" or 3"
Position setting
Control unit
Beam flux monitor
Controller
Sample manipulator heater with power supply
Temperature controller and display
(3) Ion gauges:
With (3) power supplies and controllers
Main chamber
Preparation chamber
Load lock
Load lock for 4-10 wafers
With heater for pre-bake out at 150°C, power supply included
Temperature controller
Preparation chamber
With heater for bake out at 400°C, power supply included
Temperature controller
Electrical distribution panel
Bake out panels with electrical connections
(8) Shutters with their control units
Utility distribution box for water, air, N2
QMS and RHEED with power supplies
Operating system and computer (Latest version of Moly, or AMBER, or EPIMAX)
4-6 Sample holders
Silver coated copper gaskets
Pyrometer
RHEED Camera and analysis software
Turn key project
Effusion cell:
Flange, 4.5"
Dual or single heater up to 1350 C
85-155 CC PBN crucible
Power supply
Temperature controller.
VARIAN/VEECO GEN IIは、III-Vポリタイプ、酸化物、窒化物、グラフェン、希土類元素などの幅広い材料の成長に利用可能な分子ビームエピタキシー(MBE)装置です。このシステムは、2つのチャンバーMBEユニットを含む2つの主要コンポーネントで構成されています。2つのチャンバーMBEマシンは、蒸発チャンバーと成長チャンバーで構成されています。蒸発室には6つのクヌドセン細胞源があり、材料の種類の変化を可能にしています。成長部屋はエピタキシャル成長を最大にするように設計されている非常にカスタマイズ可能な浴室の管の基づいた部屋です。このツールには多数のサブシステムが装備されており、温度制御、基板加熱、現場監視の6軸など、材料の品質を最適化することを目的としています。この制御アセットにより、成長プロセスの自動化とリモートコントロールが可能になります。さらに、ソースジオメトリのカスタマイズ、スリットブレードとグリッドのカスタマイズ、サンプルスループットとチャンバ圧力制御、および材料の品質と精度を向上させるプリアライメントとポストアライメント機能など、さまざまなオプションのパラメータを備えています。最後に、装置には、脱気クラスター、遠隔電子銃、レーザーシステム、およびユーザーが材料の品質と成長速度をさらに最適化する可能性をプロットできるコントローラの組み合わせなど、さまざまなサポートシステムが装備されています。全体として、VEECO GEN IIは、幅広い材料を成長させることができる強力なユニットです。その多数の補助システムとパラメータ、ならびに自動化された制御により、材料の成長を正確に操作して、さまざまな用途で使用できる一貫した高品質の材料を生産することができます。
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