中古 VEECO Gen II #9057008 を販売中

VARIAN/VEECO GEN IIは、オプトエレクトロニクスおよび電子材料の幅広い製造に最適化された分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。シンプルな構成変更を可能にする最先端のモジュラー設計を提供します。これは、プロセスパラメータの強化制御を提供する高度な制御システムを提供しています。窒化ガリウム（GaN）、インジウムガリウム（InGaAs）、ガリウムヒ素（GaAs）、インジウムリン（InP）などの半導体材料や、金やアルミニウムなどの金属を含む幅広い材料を堆積することができます。また、イオンビーム添加蒸着などの先進的な材料蒸着技術を実現しています。 （IBAD）、材料をプロファイルし、形成するために特別に設計されたイオンビーム、吸着制御沈着、材料が露出した表面にのみ堆積されることを保証する技術、および金属補助化学エッチング （MACE）は、さまざまなナノ構造ベースのテンプレートを作成するために使用できる革新的な技術です。VEECO GEN II機械はまた沈殿させた材料の質を監視し、評価するのに使用することができる複数の高度の診断システムが装備されています。これらには、in situ reflectometryおよび走査型電子顕微鏡画像が含まれる。このツールは、自動化されたウェーハモニタリングアセットと統合されています。これにより、リアルタイムのウェーハ解析と品質管理が可能となり、最適な材料蒸着性能が得られます。VARIAN GEN IIモデルには、アーク検出器、ガス濃度および検出器モニター、安全インターロック装置などの安全機能も備えています。機能は、オペレータと研究者の両方のための高いレベルの安全性を維持するように設計されています。GEN IIシステムは、オプトエレクトロニクスおよび電子材料の生産のための強力で柔軟なプラットフォームです。その高度な制御ユニットは、最適な材料蒸着性能のためにプロセスパラメータが維持されることを保証します。それに多くの異なった適用のために適したようにする材料の広い範囲を沈殿させる機能があります。さらに、機械にはいくつかの高度な診断システムが装備されており、材料沈着品質の包括的な分析と多数の安全機能を提供しています。