中古 VEECO GEN II K #293650675 を販売中

VARIAN/VEECO GEN II K Molecular Beam Epitaxy （MBE）装置は、基板上の高純度材料の薄膜を成長させ、原子レベルの精度で酸化金属構造、ハイブリッドフィルム、ナノ構造を生成するための先進的なシステムです。単位は2つの別の部品から成っています：プロセス部屋および材料の各層の巧妙な沈着に貢献する成長部屋、両方。プロセスチャンバーは、基板を準備し、薄膜の成長のための真空環境を作成するために使用されます。蒸化器、リンタンク、石英冷蔵トラップなど様々な成分が含まれています。この蒸化器は、基板に低レベルの不純物を堆積させ、超高真空を生成するために使用されます。リンのタンクは成長部屋にリンの特定の量を加えるために責任があり、水晶によって冷やされるトラップはプロセス部屋を更に浄化するのに使用されます。成長チャンバーは、薄膜の堆積が発生する場所です。酸化物などの高温材料用の蒸発器、より高いレベルの不純物を加えるための電子ビーム蒸発器、低エネルギー電子回折を含む （LEED）フィルムの結晶構造を研究するためのソース、均一な熱および電気状態を維持するために使用される安定化ソース、およびソース流量を制御するために使用されるシャットオフ弁のセット。このマシンには高度なコンピュータベースの制御ツールも含まれており、材料の各層のパラメータを正確に制御することができます。このアセットは、無線周波数回転ソース設定とガンマオフセット設定の手動制御も提供します。最後に、このモデルには、機器のパフォーマンスを追跡するためのさまざまなモニターとレコーダーも含まれています。全体として、VEECO GEN II K分子ビームエピタキシシステムは、金属酸化物構造、ハイブリッドフィルム、ナノ構造物の高品質の薄膜を製造することができる高度で信頼性の高い蒸着ユニットです。サイズや形状の範囲で超高純度フィルムを製造することができる汎用性の高いマシンです。これは、技術応用のための先端材料の研究開発のための貴重なツールです。