中古 VARIAN / VEECO UHV #9081064 を販売中

分子ビームエピタキシー（MBE）は、ナノスケール上の結晶材料の製造に使用されるツールです。VARIAN/VEECO UHV MBE装置は、さまざまな基板上に複雑な薄膜材料を堆積させるために設計されており、分子成長によって複雑なヘテロ構造を作成することができます。従来の放出電池や電子ビームガンなどの分子ビーム源の成分と高温高真空システムの成分を組み合わせることで、高い蒸着速度と均一性を実現しています。VEECO UHV MBEユニットの中心には、超高真空（VARIAN UHV）チャンバーがあります。内部には、10〜7 Torr未満の基圧、最大1200°Cの温度範囲、および直径6インチまでの寸法の基板を収容する能力を持つ環境があります。このような条件は、分子ビーム蒸着に不可欠です。UHVチャンバーに加えて、VEECO MBEマシンは、デュアルガン電子ビームガン、蒸発セル、スパッタ源などの一連の分子ビーム源も備えています。デュアルガン電子ビームガンは低温蒸着用、蒸着セルは高温精度用に設計されています。スパッタ源は、より多様な預金能力を提供します。ソースのパラメータを制御することにより、VARIAN/VEECO UHV MBEツールは、薄膜および/またはヘテロ構造のほぼ無限の種類を作成することができます。DCとRF入力を提供する別の電源アセットが電源に電力を供給します。これは、材料の正確かつ正確な堆積を確保するのに役立ちます。このプロセスをさらにサポートするのは、ポジショナ、自動サンプル回転システム、マスフローコントローラなどのオートメーションコンポーネントの選択です。これらのコンポーネントにより、ユーザーは目的の基板を正確に選択し、成長プロセスのパラメータを正確に制御することができます。最後に、VEECO UHV MBEモデルは、ユーザーの快適性と安全性のために設計された頑丈で人間工学に基づいたエンクロージャに収容されています。また、さまざまな高度なシステム監視システムと安全システムを備えているため、分子ビームエピタキシープロジェクトを実施するあらゆる実験室に最適です。