中古 VARIAN / VEECO GEN II #9232281 を販売中

VARIAN/VEECO GEN IIは、高い蒸着精度と低ガス不純物の組み込み用に設計された最先端の分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。高精度で高解像度の様々な基板タイプに固体材料を堆積させることができます。このシステムは、超高真空ユニット、エフユージョンセル、電子ビーム蒸発器などのいくつかのコンポーネントで構成されており、すべてが協力して望ましいフィルムを作成します。超高真空機械は、ポンプとビームラインのいくつかの段階で構成されており、真空を分子ビームエピタキシャル成長に最適なレベルに保つために使用されます。このツールはメンテナンスパネルからアクセスでき、10-7-10-8 Torrのベース圧力を維持する責任があります。電子ビーム蒸発器は材料を熱し、蒸発させるのに使用されます、本質的に選択の基質の分子を「凝縮」します。ここでクローズドループまたは反応成長プロセスを実行できます。排水セルは、ガスの流れを制御し、成長プロセスに必要な化学前駆体を輸入するために使用されます。この資産はまた、正確なガス配分制御を担当しています。シングルチャネルまたはデュアルチャネルエフジョンセルを搭載しており、一度に最大2つの金属または半導体源を使用することができます。これにより、材料の組成、層の厚さ、蒸着速度を正確に制御できます。また、VEECO GEN IIには超微細抵抗熱スキャンモデルが装備されており、基板の温度制御を正確に行うことができます。この装置は50Kから1000Kまでの温度で動作することができます。最後に、電子サイクロトロン共鳴源を搭載し、フィルムに組み込むための原子のイオン化を正確に制御することができます。全体的に、VARIAN GEN IIは、さまざまな材料の正確で低温の成長を提供できる洗練された材料蒸着ユニットです。その特徴は、幅広い研究開発アプリケーションに適しています。