中古 VARIAN / VEECO GEN II #9215068 を販売中

VARIAN/VEECO GEN IIは、さまざまな用途で高品質の薄膜増殖を目的とした分子ビームエピタキシー（MBE）装置の一種です。真空チャンバーと電子のビームとシリコンやガリウムなどの元素の粒子の組み合わせを使用して、これらの材料の原子層の薄膜を成長させます。VEECO GEN IIは、材料の薄膜を堆積するためにEビーム蒸発と呼ばれるユニークな技術を利用しているため、ユニークです。このEビームは、材料に電場を印加すると生成され、材料の分子が粒子のビームでイオン化または加速されます。薄膜の成長プロセスは、真空システムに材料をポンプで送り込むことから始まります。この材料は原料を形成し、特定の温度に加熱され、原料の表面から原子を除去することができます。同時に、Eビームは、薄膜が成長する基板上の原料の堆積を指示および制御します。厚さが増すにつれて、薄膜の応力、抵抗、バンドギャップ、誘電率などの特性や電気特性に影響を与える追加の要素（ドーパント）をユニットに導入することで、成長を調節することができます。VARIAN GEN IIには2つの真空ポンプとVEECO Opticronイメージングマシンがあり、薄膜の成長を監視できます。また、サンプルの表面品質を測定するために使用されるサーフェスアナライザと、より高い堆積率、より高い品質、および再現可能な実験を使用してサンプルを処理できるロードロックツールも含まれています。GEN IIは最先端のMBE資産であり、科学者やエンジニアがマイクロエレクトロニクスから太陽エネルギーまで、さまざまな用途で高品質の薄膜を作成するのに役立ちます。これは、高品質の薄膜成長を求める人々にとって非常に貴重なツールであり、ひずみ薄膜構造の測定、界面調査、ドーピング研究など、幅広い研究に使用されています。