中古 VARIAN / VEECO GEN 200 #9187475 を販売中

VARIAN/VEECO GEN 200は、III-V化合物の成長を含むがこれに限定されない様々な薄膜蒸着プロセスを促進するために設計された分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。高真空チャンバー、加熱基板ホルダー、マルチガン噴出セル配置で構成されています。このチャンバーには、パージ、熱および機械的遮蔽、およびドーパントガスの導入のための補助部品が装備されています。このMBEシステムの主な特徴は、独立に制御された2つのエフュージョンセル、デュアル抵抗加熱基板ホルダー、および即座に2門から4門に切り替える機能です。基質の温度は正確さまたは± 5°Cの10°Cへの1000°Cの範囲で置かれ、維持することができます。高真空チャンバーのバックグラウンド圧力は5。0×10-10 Torrで、スループットは毎秒6。0リットルです。サンプルのパージおよび充電中和のために、ユニットにはガスシャッター、静電気イオンニュートラライザー、および封止された蒸化器が装備されています。VEECO GEN 200の主な目的は、均質で高品質の薄膜を製造することです。これは、ソース温度の正確な制御を確保するために高度な流出セル制御マシンを使用しており、これによりソース材料の安定した質量伝達速度が得られます。このツールは、滑らかで平面の表面で材料の成長を生成することができ、正確なドーピング濃度を可能にします。VARIAN GEN 200は、高度でプログラマブルな設計により、多層蒸着と単層蒸着の両方を柔軟に行うことができます。これにより、研究用途と産業用途の両方で優れた薄膜特性を持つサンプルを製造することができます。また、このMBEアセットには高度なデータ収集モデルが搭載されており、ユーザーはさまざまな成長状況をリアルタイムで監視することができます。また、システムの制御と操作を簡素化する高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えています。全体として、GEN 200は、二重独立した噴出セル、温度制御、およびガス排出メカニズムを備えた高性能MBEユニットです。洗練された制御機械と高精度のこのツールは、優れた品質と均質性を持つ薄膜材料の範囲を生成することができます。