中古 VARIAN / VEECO GEN 200 #293602410 を販売中
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VARIAN/VEECO GEN 200は、先進的なナノ加工能力を備えた分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。このシステムは、優れた制御と精度で高品質の薄膜を製造するために設計されています。電子・光電子デバイスから超伝導量子デバイスまで幅広い用途に使用できる汎用性の高いツールです。VEECO GEN 200は、マルチチャンバー蒸着ユニットです。ロードロック、プロセスチャンバー、プラットフォームチャンバーの3つのメインチャンバーで構成されています。ロードロックは、基板やサンプルの機械内外への安全な搬送を可能にするために使用されます。それは自動充満および荷を下す用具が装備されています。プロセスチャンバーは実際の蒸着を担当し、基板操作ゾーン、気化ゾーン、排気ゾーンの3つのゾーンに分かれています。基板操作ゾーンには、安定した基板温度制御のための温度制御パレットが装備されています。蒸発ゾーンには、蒸着に必要な蒸気種（または前駆体）を生成するための2つの無線周波数（RF）ソースが装備されています。排気ゾーンには、揮発性化合物を除去するためのポンプとフィルターが含まれています。プラットフォームチャンバーは、基板を誘導および積層するための中間バッファチャンバーとして機能し、自動ローディングアセットと温度制御モデルも装備されています。VARIAN GEN 200 MBE装置は、薄膜の成長に影響を与えるパラメータを正確に制御することができます。これらには、基質の温度、反応ガスの圧力と組成、および着信種のフラックスが含まれます。これは、独立した温度コントローラ、フローコントローラ、圧力およびマスフローコントローラ、およびその他のプロセスパラメータの組み合わせによって行われます。また、堅牢なデータ収集ソフトウェアパッケージを備えており、データのリアルタイム監視とさまざまなプロセスパラメータの制御が可能です。このソフトウェアパッケージには、幅広いMBEプロセスのための包括的なオペレーティングユニットと、データ分析のための高度なプロットツールとユーティリティが含まれています。GEN 200は、高性能オプトエレクトロニクスおよび電子デバイスの製造に成功しており、幅広い分野で研究および製品開発のための人気のあるツールとなっています。その優れた機能と汎用性により、さまざまなアプリケーションに便利なツールとなります。
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