中古 RIBER 304 #9153862 を販売中

Molecular Beam Epitaxy （MBE）は、よく定義された結晶構造を持つ材料のエピタキシャル薄膜を作成する多目的で強力な方法です。RIBER 304は研究および産業適用の両方の最高の条件を満たすように設計されている最先端のMBE装置です。システムは、最適化された均一性と最高品質の均質な層の成長を備えています。304は発電機の部屋、サンプル部屋、シャッターユニットおよび真空機械を含むいくつかの部品で構成されます。発電機の部屋は必要な真空環境を提供するターボポンプに接続されている一連のeffusion細胞から成っています。セルは電気的に加熱され、2つのタイプオーブンを備えています。1つはIII-V化合物の成長のため、もう1つは貴金属の堆積のためです。サンプルチャンバーには、8ポケットサンプルホルダー、引き込み式ミラー、ガス注入ツールが装備されています。シャッターアセットはモデルのメインコントロールユニットであり、MBE蒸着に必要な各材料の正確な投与を可能にします。これは、両方の材料のための独立した作動装置を含み、また、オーブンの加熱状態に視覚的なフィードバックを提供します。さらに、その汎用性の高い制御ソフトウェアは、シャッター機器を微調整するためのオプションの広い範囲を提供しています。真空システムは、イオン源の真空ポンプ、ロータリーポンプの配列、イオンポンプコントローラ、イオン化ゲージで構成されています。この堅牢で効率的な真空ユニットは、極めて低いプロセス圧力（<5 x 10^-10 Torr）と優れたバックグラウンド真空（<1 x 10^-11 Torr）を保証します。RIBER 304 MBEマシンはまた、シャッターアセットから真空モデルまで、すべてのツールコンポーネントを監視および制御するために使用されるリモートコンピュータを備えています。このコンピュータは研究者にとって重要なコンポーネントであり、プロセス圧力、成長率、その他の動作パラメータのリアルタイムプレビューなど、さまざまな専門ツールにアクセスできます。結論として、304は高性能、信頼性、柔軟性を兼ね備えた高度なMBE装置です。それは多くの研究および産業適用で必要な大きい制御および厳密な同質性の望ましい材料のエピタキシャル薄膜の沈殿を可能にします。