中古 RIBER 2300 #9377151 を販売中

RIBER 2300は研究および生産の適用のために設計されている分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。このシステムには、10〜7Mbar以下の低残留圧を維持できる超高真空ユニットが装備されています。これは、反応種を効率的かつ室内壁との反応なしに接触させるために必要である。この機械は温度制御されたピラミッドサセプタプラットフォームを備えており、1100°Cまでの温度での成長を可能にします。MBEツールはまた、成長のための金属および有機前駆体の多様な効率的なガス供給資産を提供しています。活性ガスは、最適なビーム制御のためのサーマルクラッカーを介してチャンバーに供給されます。2300は、処理された材料を汚染から保護する衝突検出機能を備えたウェーハ追跡モデルを備えています。基板上で培われた層を正確に特徴付けるために、XPS （in-situ X-Ray Photoelectron Spectroscopy）システムを搭載しています。これは、MBE成長中に形成された層の成長条件と組成を特定するのに役立ちます。さらに、RIBER 2300にはGUI制御の電動サンプルシャトルユニットが装備されており、効率的なサンプルの積み込みと機械の出入りを可能にします。これはまた、単一の基板上の複数の構造と層状構造の成長をサポートします。2300には、MBEの成長やXPS分析など、さまざまな成長および特性評価手順を自動化してサポートするプロセスモニタリングおよび制御ソフトウェア機能も含まれています。このツールは、成長したレイヤーの品質に影響を与えるさまざまな変数のリアルタイム監視と制御を提供します。RIBER 2300 Molecular Beam Epitaxy Assetは、薄膜の成長と特性評価のための高度な完全装備モデルです。このシステムは、成長パラメータとその場でのXPS特性評価のための機器を監視および制御することができるため、さまざまな電子構造の調査に適しています。