中古 DCA / DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 #293595316 を販売中

DCA / DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600
ID: 293595316
Molecular Beam Epitaxy (MBE) system Flexible vacuum tube: LN2 Supply Cassette loadlock Pentium 4 1.5 GHz computer RAM: 256 MB Hard disk: 20 GB Floppy disk, 3.5" CD-ROM Speed: 12-24 SVGA Monitor, 19" Digital and analog I/O interface cards Multi RS232 card Maximum vacuum interlock: 200℃ Beam Flux Monitor (BFM) Residual Gas Analysis (RGA) RHEED (30 keV, Staib) UPS System Liquid nitrogen Buffer chamber: < 5 x 10^-10 torr Load lock: < 2 x 10^-6 torr Growth chamber: < 1.0 x 10^-9 torr Materials used: GaAs, GaInAs, AlGaAs epitaxy (2) Ga (2) Cold lip Al In 13 cc Si Be V group: 1000 Valved cracker Pumps: Cryo pump (2) Ion pumps (Valcon Plus 300, 500) (2) Turbo pumps (VARIAN Turbo-V 301, 551) (2) Dry scroll pumps (VARIAN SH-100, Tri scroll 300).
DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600は、分子ビームエピタキシー(MBE)装置です。DCA P600は、原子レベルで薄膜と多層を作成するように設計されたコンピュータ制御、高精度、高真空システムです。このチャンバーは、超高真空(UHV)条件下で動作し、室温から数千度までの蒸着温度を達成することができます。ユニットには、危険なイベントが発生した場合にプロセスをシャットダウンするソースロックアウトインターロックマシンが装備されています。DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBEツールは、高性能な電子材料および光学材料の製造に適しています。電子衝撃蒸発源と分子ビーム源を含む様々な他の源を使用しています。この資産は、ガリウム-ヒ素、窒化ガリウム、およびインジウム-リン化物などの材料の高精度成長を行うことができます。また、高度な光学蒸着と特性評価のためのハイエンド周波数アジャイル放射源(FAR)を備えています。MBEモデルP600、ミクロンスケールの機能を備えた超滑らかなエピタキシャル層を生成する機能や、特殊な要件のためのナノスケール機能など、幅広い精度の機能を提供します。装置は信頼できる、反復可能なプロセス結果を可能にする専門的に設計された環境の部屋を含んでいます。コンピュータ制御システムとして、DCA/DIGITAL COMMUNICATION ASSOCIATES P600 MBEユニットには、プロセス制御をさらに強化するためのさまざまなソフトウェアツールとインターフェイスオプションが装備されています。コンピュータインターフェイスはユーザーのニーズに合わせて調整でき、リアルタイムの温度および圧力ディスプレイを含む包括的な情報および制御オプションを提供します。全体として、DCA P600 MBEマシンは、薄膜およびナノ構造で最高レベルの精度を達成するために設計された最先端のツールです。高精度な成膜、幅広い成膜温度、ユーザーフレンドリーなコンピュータインターフェース、環境制御など、幅広い利点を提供します。
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