中古 VEECO / DEKTAK Dimension X3D #9375522 を販売中

VEECO/DEKTAK Dimension X3Dは、精密半導体測定用に設計されたフル機能のラボ顕微鏡です。光学および走査型電子顕微鏡（SEM）機能、3Dイメージング、高効率低真空および高真空モード、および自動マッピングを組み合わせています。統合されたシステムにより、ウェハ全体の構造を詳細に分析し、オンラインサンプルの準備と検査を行うことができます。これにより、ミクロンとナノメートルレベルの構造に関する問題を決定するのに特に適しています。このシステムは、高精度の光学系および高速スキャン段階、および高度な反射経路を使用して、二次電子または切断エッジを検出し、サブナノメートル分解能を取得します。このイメージングは、半導体サンプルのすべての表面を3Dでイメージングまたは調査できるようにすることができる減磁光学系と低消費電力の対物レンズを使用して最適化されています。さらに、X3Dには独自の低電圧ビュー技術が含まれているため、サンプルを3nm解像度まで見ることができます。サンプルマッピングを自動化するために、X3Dは、サンプルの形態を検出するためにPhoton-Excited Secondary Electron Emission （PSEE）と呼ばれる特殊な技術を使用します。PSEEは、地形画像などの従来の方法よりも速くサンプルの地形をマッピングすることができます。また、生成された二次電子の量を減らすとともに、よりスムーズな画像を得るために、X3Dを改善しました。このX3Dには、顕微鏡の制御、画像の分析、さらにはデータの記録と分析に使用できる包括的な一連のソフトウェアも含まれています。ソフトウェアは、画像を表示し、自動的に測定レポートを作成するだけでなく、サンプル内の欠陥や欠陥の存在を決定するだけでなく、関心のある他の機能を使用することができます。さらに、このソフトウェアには、欠陥のサイズと形状の識別のためのツール、ならびに欠陥解析技術が含まれています。このX3Dは、単一のワークステーションから制御可能であり、トライアルマシンなどの自動システムとインタフェースすることができます。これにより、X3Dは迅速な計測およびプロセス制御アプリケーションに理想的な選択肢となります。このX3Dは、半導体測定用の強力で汎用性の高いツールであり、優れた性能、耐久性、およびオートメーション機能をユーザーに提供します。VEECOとDEKTAKの専門知識とサポートを兼ね備えたX3Dは、高精度の半導体計測アプリケーションに最適です。