中古 VEECO Contour GT-X3 #9248833 を販売中
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ID: 9248833
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2011
3D Optical microscope, 8"-12"
Manually loaded
X,Y Stage: 12" x 12"
Field of view: 0.5 mm to 2.0 mm
Auto tip tilt stage
(4) Motorized position turrets
Maximum scan range: Up to 10 mm
PC
Operating system: Windows 7
Vertical resolution:
0.05 nm (Motor)
0.01 nm (PZT)
RMS Repeatability:
0.01 nm (Motor)
0.004 nm (PZT)
Lateral resolution:
0.38 μm Minimum (Sparrow criterion)
0.13 μm (With AcuityXR)
0.01 μm (With NanoLens)
Step height accuracy: <0.75%
Step height repeatability: <0.1% 1 Sigma repeatability
Maximum scan speed: 114μm / sec (With standard camera)
Sample reflectivity: 0.05% - 100%
Maximum sample slope
Shiny surfaces: Up to 40°
Rough surfaces: Up to 87°
XY Sample stage: 8" Automated
Encoders: 0.5 μm
Z Focusing, 4" Automated
Tip / Tilt function: ±6° Automated
Computer-controlled tip / Tilt head
Optical metrology module:
Patented dual-LED illumination
Single-objective adapter
Optional automated or manual turret
Objectives:
Parfocal: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x
LWD: 1.5x, 2x, 5x, 10x
TTM: 2x, 5x, 10x, 20x
Bright field: 2.5x, 5x, 10x, 50x
Zoom lenses: 0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x Auto-sensing modules
Camera:
Standard monochrome: 640 x 480
High-resolution monochrome (Option): 1392 x 1040
Color (Option): 640 x 480
XY Automation:
Automated stitching scatter and grid automation
Calibration via traceable step standard
2011 vintage.
VEECO Contour GT-X3は、ユーザーに優れたイメージング性能を提供するように設計された、高度で自動化された走査型電子顕微鏡（SEM）です。SEMの技術を構成する3つの主要コンポーネントとして、高電圧電子エネルギー、多軸、自動化されたサンプルステージスキャン、顕微鏡部品の精密なアライメントの組み合わせを利用しています。その主な用途は、高解像度イメージング機能を備えたナノメートルスケールの表面特性の調査です。輪郭GT-X3の主な構成要素は、電子光学カラム、サンプルステージ、サンプルホルダーです。電子光学カラムには、焦点電子光学と銃、柱のガラスエンベロープ、液浸レンズが含まれています。サンプルステージは、X、 Y、 Z軸に± 20mmの範囲で、3軸の自動サンプルモーションで構成されています。このサンプルステージには、2次電子検出器と3次電子検出器が含まれており、サンプルフィーチャーの高分解能イメージングが可能です。サンプルホルダーは、ウェーハ、ガラススライド、その他の材料など、さまざまなサンプルメディアに対応するように設計されています。VEECO Contour GT-X3は、電子光学カラムとサンプルステージに加えて、電子ビームの正確なアライメントと自動画像取得のための専用の制御および取得システムを備えています。この制御・取得システムは、顕微鏡のサンプル移動、検出器の測定、データ取得、ソフトウェア機能、および遠隔制御を制御することにより、顕微鏡のイメージング機能をさらに強化します。輪郭GT-X3を使用すると、自動画像登録、高度な組織病理、スキャン光学アライメントなど、さまざまな機能にアクセスできます。さらに、装置はリアルタイムの画像処理と分析の可能性を備え、自動化された正確な測定を行うことができます。さらに、この顕微鏡は、サンプルの高速ビデオイメージングに革新的な機能を提供し、サンプルの完全自動イメージングまたはマクロおよびマイクロスケールでの顕微鏡の動作を遠隔制御するオプションを研究者に提供します。結論として、VEECO Contour GT-X3は、ユーザーに優れたイメージング性能を提供するように設計された、高度で自動化された走査型電子顕微鏡（SEM）です。エンドユーザーの汎用性と柔軟性のためのさまざまな機能を組み込み、自動画像登録、高度な組織病理学、スキャン光学アライメントなどの高度な機能を提供します。コンターGT-X3は、ナノメートルスケールで高解像度の画像を取得するために信頼性の高いイメージングシステムを必要とする研究者やエンジニアに最適なツールです。
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