中古 NIKON MX-61 #9150938 を販売中

NIKON MX-61はハイスループットウェーハステッパーです。精密フォトリソグラフィが必要な半導体業界を中心に大規模な生産に最適です。MX-61は最大6インチウエハまで確実に対応可能で、位置精度3。2ミクロンの優れた画質を有しています。0。75ミクロンから0。10ミクロンまでの極めて高い分解能でハイエンド露光が可能です。スループットも最適化されたスキャンベクトル設計で最大化されています。NIKON MX-61はまた、スキャン分野全体で優れた画質を維持する特許取得済みのF-Thetaレンズを持っています。これにより、ベイで不要な歪みを保持し、正確なフィールド補正を可能にします。それはまた生産の間に、焦点および乱視の精密な制御を、提供します。操作面では、MX-61はウェーハの位置と回転を電動リニアステージで正確に追跡することができます。これにより、不均一な露出を防ぎ、レイヤー間の正確なアライメントを可能にします。また、NIKON MX-61では、予知保全のための診断ソフトウェアによる遠隔監視もサポートしています。メンテナンスの面では、MX-61は防塵エンクロージャを持っており、長期使用のための高品質のエアフィルターを提供しています。また、エアベアリング設計により、応力を最小限に抑え、摩擦を最小限に抑え、低消費電力を実現しています。さらに、CCDイメージングシステムを搭載しており、最大10倍の倍率で手動検査が可能です。NIKON MX-61は、全体的に、大規模な生産のための精密なフォトリソグラフィを提供する高品質のウェーハステッパーです。その先進的な技術と機能により、半導体産業やその他の関連産業にとって理想的な選択肢です。